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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？/ d, h/ ]$ v7 i( _
是如何形成？% N3 n7 y% Z7 `* b4 ?
作用是什麼ㄋ？？
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2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質' J7 F* F1 B" R4 z- A( ]- v
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上
6 u3 a3 \, d$ u  ^' ~0 Z會全面灑在晶圓上　如果　不想有
9 I8 G& a) X. B. T) ^  V8 {9 T的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
. L$ t' |  T; O7 r圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide; S) f! U* u4 l  J, Z1 [
阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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參與人數 1 +3 收起 理由
hyseresis + 3 Good answer! 優質答案！

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3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝！！原來如此阿!!
, d1 [2 T* |9 e9 [0 U* O- E$ ^之前一直不是很清楚,是做什麼的！7 T, j- a6 i1 n& ^$ g
現在了解囉
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jauylmz
4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明   & x- s) n7 E' {
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )% C9 Q) r" B) n5 {: ?# z6 Z

4 R: z. W# y& Q7 q+ v; i2 R記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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