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inverter 製程 0.18 |- E( w4 X. k7 \, j* n
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---RUN DRC----------
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5 E$ O4 i( b5 v; ~0 V2.CHECK M1.E.2- 8 errors
4 @$ n3 t& Z, f- g% S: N- j" IM1.E.2(@Min extension of M1 end-of-line region beyond
, u% w' ~5 P, j- [9 RC0 region is 0.06um X = ENC[C0] M1 < 0.06 ABUT < 90 opposite
- D- y" E$ _* A1 NINT x <0.22 ABUT == 90 intersecting only)
S z4 Z2 D* x) O( \* g0 \8 d; y4 p: Z& f# v- p1 |6 r* N% f+ [, v1 Z
3.CHECK P0.R.3 -1 errors' _4 h v1 d4 G, r l4 s. t
Poly area coverage < 14% (exclude application forindactor)
' c; k+ [4 h1 ?/ H, I5 E4 I8 m: `( WCHIP_NOT_IND = CHIP NOT INDDMY
& F5 f& u) O& gDensity polyI_NIND CHIP_NOT_IND <0.14 print9 [! G( Z+ k9 r/ |# c( M
AREA (POLYI_NIND) / AREA (CHIP_NOT_IND)
s( S" A8 F4 S5 T.
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1 B0 x& d( m4 s, n) ?1 f: y5 F: _.
. _! P& Z5 E4 L, P類似錯誤
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2 d3 B# w* S# ]) z2 n1 c' v3 b& B' J5 m
4 H5 d5 B' G# M/ |: _" W D
2 s# P+ G" {! f1。因為標錯誤的圖示實在找不到,無從下手,都在亂猜,所以上來請益,: M3 c/ N' H( Z7 Q; h
希望可以指出我錯誤的地方跟改錯方法? a5 ^( J& y0 \* y. E
ex. diffusion :gate 的寬度不能小於0.32 之類的
6 @+ q. j; j/ T6 p9 I5 Q6 p2。是否有專業解說DRC error的網站?可以提供給小弟精進,還是一切
/ N o- r) t; @1 w* f0 I都是憑經驗) b+ Y0 e+ ]' U. i* H& B3 L
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初次發問,得罪的地方,請多多指教。 |
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