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請問大大,我現在想學關於高壓製程Layout
% n* U- s g# d3 E; B+ Q. I5 X) M% T那我對高壓製程的構造不是很了解,可以介紹網站或資料給我做參考 ...4 G& y) ` O' R. [/ Q, i
b0917353006cool 發表於 2011-6-10 06:20 PM 6 A, H3 U7 e7 M1 t4 ?' J
% h1 |# U) J! j2 B* f個人淺見,分享下關於高壓製程和佈圖學習應驗7 N- d8 V- f( g: b6 t x3 U
1:首先理解目前我們HV製程的一個簡單劃分
; g! V7 Q% @2 ]/ Y/ A+ X 不同的廠家,會有不同的定義,在深亞微米中,可能5V VBRDS的Device已經被識別為高壓。
% t3 f5 b) f/ ~; U! m f9 z* I4 P0 } 依據VBRDS/VGSmax大致可以作一個劃分9 q" t( v6 h- S% n
LV8 _/ L, K3 L. y1 Y6 ]3 f; M
VbrDS<5V7 j" o+ I2 a1 v, e9 H
MV 3 ?& @, n- ^# W; ^( a7 C0 m0 _" k
15V<VbrDS<25V) [5 h; m3 Q& g3 G" t- Z
HV
' D6 F( f* p' ?# M 30 <VbrDS<45V
' g' M/ }& h. E* Z! r) V 45<VbrDS<80V# F4 g2 L: |( x* V3 _# A1 D { G
UHV, h2 y2 o6 p9 W i% P8 t7 H' d
80<VbrDS<120V; v! ^8 b6 L% a7 v
500V<VbrDS
3 Y' r- g; H, ^8 [ j' U0 m 800V<VbrDS) b. {7 x, [, n6 [4 a
目前大致會做這樣幾個區間的劃分,這種狀況與製成本身的發展,產品系列兼容,甚至考慮兼容早期BIPOLAR用於電力,電機產品有一定關係。
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2:此後,可以按照自己學習興趣與工作需求,選取制定學習計劃
& _( z6 Z) `' q& W. D4 m' Z 並理解器件的物理和電學特性
4 U: o! O9 |1 A/ }5 [2 p" f 這樣做是必須的,好處也很明顯。只有這樣才能避免犯錯誤,才能理解高壓規則的制訂依據或者限制級在那裏。- D' I8 Q' x9 |5 g, |
一些圖書是必須的,製程介紹類的圖書相信大家都不會缺少,特別強調下,在30V以上時,最好下功夫對LDMOS做細緻的學習。/ K# l$ @9 h3 O6 J. T, A% `
如果涉及到80V左右的應用,尤其需要謹慎,因爲在CMOS時代這個電壓區間是比較尷尬的,HVI可能會帶來leakage current的問題,一定要與廠家做好細緻溝通,並在Pre-tapout前作好Review。& C- Z* t3 |5 [0 _7 K& B( K" w2 i: R
500V之上的的單片集成應用必然會涉及到Resurf技術或者SOI的應用,這樣的製程會與普通的結隔離又較大的差異,HVI也會帶來影響。不過一般廠家都會給出一些解決方案,
: w# s$ B, T" C' w3 v% m IR,摩托等等公司也產生了很多專利 ,讓人感嘆設計師的創造力之強 。
- v& j# s1 P" h- E 理論的學習,% T" y2 Z4 G9 G7 T( B
推介使用陈星弼老先生的那本《功率mosfet與高壓集成電路》,這是一部相當老的圖書,出版于幾十年前,但是對基本結構,如場板,終端結構等等的介紹很清晰明瞭。2 o7 ]8 h9 v4 k1 p
原書已經絕版,好在資料可以到網路上搜索到。# g& h# y" j- W4 P+ c. _ V! ~
4 ]6 H5 E" L/ b6 L' T9 P3:實踐
; z$ `) w- L( l7 S0 j 檢索了目前大多數的論文與報告,並不令人滿意。在這個工程領域,主要的技術應當是各個廠家。
- z. h$ k# j# ^ UMC/TSMC年前都對這個領域作了開發,可能主要的目標是指向對新能源產品的支持,可以咨詢並下載相關文檔。其中給出了Refrence Rules和相應的guide line,這些規則大部分對其他產品設計依然有
. d/ @7 J7 X# z/ O, X0 M0 I 參考的作用。此外 X-FAB,AMIS在這個領域可以說是歐美洲區域領導者地位,結構也與台系有區別。尤其AMIS。不過好像已經被ON收購,可能會在合作中產生一定障礙。
/ j( |- q0 Y& h 特別提一下新竹的EPISL,應當是臺灣較早投入這個領域的廠家之一,EPI是HVDevice的關鍵之一,或許是EPISL的最大優勢。當然,還有極低的價格。
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4:Reverse engineering
* t( y8 i1 ~1 m) w. Z1 P 對於新的公司新的設計,是個可選,當然僅限與佈圖參考,如果完全依賴,那就驚險了。. C( ?9 i* E: b6 j5 b$ m
5 y2 ~, U* b/ B- `淺見,歡迎拍塼! |
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