DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
* {2 M$ i& {5 o, l1 o最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
. f0 @# P% P# A' x依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
  S* ^& i& x: M# {: j8 {+ tCase 4:
PARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
. d) e0 `+ Y  B: f9 Y! j且參考此章節Example 4 中的例子
*OPERATION
& s( j# W3 O3 U# ?( U/ fPARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
, {4 o9 `4 j. L& m( tATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
  [' e$ ]8 t* U* tATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
EQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
...
*END

其中(若以下解釋有錯請糾正我)
areaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
perimCoeff為M12的邊緣電容值
4 G) k. N3 L; G. OdepthRange為M12距離MET1的距離
sidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值

) b! Y6 t& G7 f3 V* Y以下為我節取一段Foundry的LPE command
* V- J4 S1 t1 [1 g( b3 _3 {   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
! n9 p1 K2 o8 |: g1 v5 r   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
+ s, X2 f3 e, q5 M/ N   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
% P! s/ v, h. N4 D$ w, v   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
8 K+ M1 k9 S9 _$ A! y為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
( M+ o: b& R- m9 C電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
還是我根本就理解錯誤？
. V! W/ m, [$ [  P2 e. p懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
  H1 F( Z9 K7 G! u% @; p) v6 y那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
- n/ f% A% H8 [- A- M7 F+ @case 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值