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[問題求助] 針對IEC6100-4-2的on-chip ESD 保護設計

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1#
發表於 2008-12-30 15:56:44 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問如果我的IC本身已經達到HBM +/-4kV的要求,但是當客戶在system level上打ESD的時候IC內部的電路有部份電晶體被打壞,那麼我還可以做什麼?
  z4 I4 Y2 }, Q1 b有沒有針對IEC 61000-4-2 的on-chip ESD 保護設計?
8 F7 R! p; x- ^( g. ?+ ^8 _! V我個人認為當IC 啟動的時候,所有ESD Clamp 和ESD diode 是完全在關閉的狀態,所以即使hbm過了+/-4kV,system-level亦不一定過+/-15kV3 m% I7 k6 o$ T2 J9 B! Q
我的想法正確嘛?3 f! y  o0 q: ^2 {( ?  Y( a
謝謝....
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2#
 樓主| 發表於 2009-1-10 00:40:29 | 只看該作者
好像沒有人遇到這個問題.....2 {0 j0 _0 h) x1 Z
這兒有沒有人負責IC ESD 設計?
3#
發表於 2009-1-17 10:54:01 | 只看該作者
System-Level是說沒有機殼的搭配嗎
8 [* a# j1 ]: ~/ P( B* C目前這樣的問題+/-15KV也是diode的設計基本值了
; z5 l& l+ q7 q2 Q+ F$ P所以越好的diode啟動保護越快效果越佳
4 O' K3 @& W5 I) ~; g# u" N但因為是limit值所以會有穩定的誤差值( T3 P; t* p0 T: n- ]6 y, F
大部分要搭配機構去防護
4#
 樓主| 發表於 2009-1-19 15:09:34 | 只看該作者
是呀, 沒有機殼的搭配, 只是加上一些PCB的external component,我們的客戶說打ESD GUN 是把我們的IC被打死,要求我們改善.. m$ q  V: y" @0 V( g
請問你所說的didoe 是IC PAD 內的diode,還是IC 外的TVS DIODE?
2 s; n# }+ S. b客戶不用TVS
5#
發表於 2009-1-20 16:04:30 | 只看該作者
原帖由 ritafung 於 2008-12-30 15:56 發表 - w& I" E! Y  U% g( N( \* j; Q
請問如果我的IC本身已經達到HBM +/-4kV的要求,但是當客戶在system level上打ESD的時候IC內部的電路有部份電晶體被打壞,那麼我還可以做什麼?0 [5 ?" e4 p" L0 W
有沒有針對IEC 61000-4-2 的on-chip ESD 保護設計? ' E/ z) e+ Y. e9 c1 i
我個人認為當IC 啟動 ...

9 u) C8 T3 x% `" O; y" s6 b) H* p+ _
我有过这方面的经验,我们的片子hbm-6k没有问题,system level 15k也没有问题,外部没有加任何的钳卫器件。不知道你的片子里面用什么样的结构,不要用gcnmos,ggnmos可以用但是目前看来效果不太好,scr的效果很好

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參與人數 1Chipcoin +2 +2 收起 理由
semico_ljj + 2 + 2 对大家有帮助。

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6#
 樓主| 發表於 2009-1-20 18:56:37 | 只看該作者
請問你有沒有做一些ESD detection 的circuit? 我們做的是mix-signal, 很多時候打system level 是IC 當機.. 我可以做些什麼? 我的片子那麼好... 我們的有~100根pin,要達到4kV已經是很好了
% o5 x; u+ B2 u, CESD protection 則用PNDIO + RC-GTNMOS
7#
發表於 2009-1-20 21:08:46 | 只看該作者
"ESD protection 則用PNDIO + RC-GTNMOS",这个是不是代工厂提供的标准IO?
8#
發表於 2009-1-20 21:10:46 | 只看該作者
SCR是不错,但是几乎所有代工厂不推荐,也不提供,LatchUp可能是主要问题。SCR研究的很多,主流量产产品好像不多见。
9#
發表於 2009-1-21 11:42:24 | 只看該作者
原帖由 ritafung 於 2009-1-20 18:56 發表
0 D3 ?. f: {+ N" ~請問你有沒有做一些ESD detection 的circuit? 我們做的是mix-signal, 很多時候打system level 是IC 當機.. 我可以做些什麼? 我的片子那麼好... 我們的有~100根pin,要達到4kV已經是很好了
! {$ l- {% W; m, nESD protection 則用PNDIO  ...

+ C8 c) J" m* i1 N; D. y. H我们的pin比较少,没有像你们的那么多,不过那个成功的片子用的是scr结构(完全利用其击穿机制,没有加任何的detection circuit),是自己做的,代工厂没有提供相应的参考结构,现在已经量产,也做过相应的latch-up实验,并且pass.不知道兄弟用的什么样的结构,可否详细的描述一下,如果可以,我愿意尽自己的微薄之力的。
10#
 樓主| 發表於 2009-1-21 11:53:47 | 只看該作者
原帖由 semico_ljj 於 2009-1-20 09:08 PM 發表
5 \( r3 R5 y$ ]3 }4 @"ESD protection 則用PNDIO + RC-GTNMOS",这个是不是代工厂提供的标准IO?

" u) r9 v( d7 F* Q0 a+ }& U& w這是代工廠的建議
( _9 [9 h$ f/ u3 W- b而我們則覺得它是最省空間, 我們的ESD design 全是custom 的, 沒有用代工廠的標準IO library
11#
 樓主| 發表於 2009-1-21 12:02:24 | 只看該作者
原帖由 semico_ljj 於 2009-1-20 09:10 PM 發表
* ?& v4 V0 M$ ~  T7 P$ R  wSCR是不错,但是几乎所有代工厂不推荐,也不提供,LatchUp可能是主要问题。SCR研究的很多,主流量产产品好像不多见。
* Z' ?. k/ W* u- q
SCR放電的能力是非常好,但它對Process的variation亦非常敏感,所以我們都不會用..大家亦不希望量產時有任何失誤而賠錢...做研究就好,用在產品就免了
, b  s4 \1 ]# w但我聽說大陸有很多的設計是用SCR的
12#
發表於 2009-1-21 13:30:29 | 只看該作者
SCR也试着做过,HBM效果很好的,但是不敢推广!呵呵,“Process的variation亦非常敏感”,想挑战8KV以上的可以尝试
" p3 B# n  u: A; E$ A3 j7 u) W
: `7 M- N# ~" }! e[ 本帖最後由 semico_ljj 於 2009-1-21 01:40 PM 編輯 ]
13#
發表於 2009-1-21 16:45:25 | 只看該作者
关于芯片级的esd,我们同一个片子做过ggmos/gcmos/scr三种结构,也有过相应的验证,HBM8k没有问题,但是拿到系统级上面,ggmos/gcmos无法满足客户的15k要求,只有scr结构能够ass,而且我们选的工艺比较稳定,所以选用了scr。个人感觉,pass15k,常规的esd结构很难,其中gcmos的结果最弱(有实验证明的),ggmos居中,scr最好,关于PNDIO + RC-GTNMOS,我没有用过,但是根据别的项目的经验,貌似想pass+/-15k很难

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參與人數 1Chipcoin +3 +3 收起 理由
semico_ljj + 3 + 3 细致。

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14#
發表於 2009-1-21 20:38:01 | 只看該作者
代工厂普遍采用“PNDIO + RC-GTNMOS”,不知为什么?当然还有只用Diode的。是不是这种结构最成熟稳定。9 g. u/ ~+ |1 Y. ^6 T( [# V
“gcmos的结果最弱”倒是不清楚,觉得gcmos开启速度比ggmos快,应该比ggmos更好才是啊。SCR当然是最好的!/ C1 v, C, L5 N2 U+ W
pass 15K 是什么标准要求这么高啊,以前没做过。
15#
 樓主| 發表於 2009-1-22 11:02:33 | 只看該作者
原帖由 semico_ljj 於 2009-1-21 08:38 PM 發表 / I/ V2 {# J8 e  J6 v- }
代工厂普遍采用“PNDIO + RC-GTNMOS”,不知为什么?当然还有只用Diode的。是不是这种结构最成熟稳定。
6 R* T9 t7 C4 A# _. Y“gcmos的结果最弱”倒是不清楚,觉得gcmos开&#2155 ...

) {* Y% D4 s& |1 {6 A2 b如果只用diode而沒有其他的power clamp, 那麼在打VDD PS mode 就需要透過diode 的reverse breakdown, 這樣的話ESD的抵抗能力一定會只有幾百伏左右.
1 i9 Q3 l8 D- S7 ~0 ^; m6 ]. g. a* B  U  a# U( V! V0 [( ]
15k 是IEC61000-4-2是system 上的ESD 要求
3 H; U6 [  k! t9 x) T* v5 NAir discharge 一般要+-15kV
0 @# V6 n" o; i4 m4 w! \0 bContact discharge 一般要+-8kV
4 a1 N. w8 R$ S5 Y9 n3 ]% \4 {這個跟JEDEC/ESDA 的HBM standard 是完全不同
- H, F. L' s, ]6 a- W9 {& l8 J
! D3 R# X5 G7 }6 m[ 本帖最後由 ritafung 於 2009-1-22 11:06 AM 編輯 ]
16#
發表於 2009-1-22 11:17:29 | 只看該作者

回復 15# 的帖子

"如果只用diode而沒有其他的power clamp, 那麼在打VDD PS mode 就需要透過diode 的reverse breakdown, 這樣的話ESD的抵抗能力一定會只有幾百伏左右."这句话有误!实践证明,foundry提供的只有DIODE的标准IO,可以通过至少2KV∼3KV以上!到了亚微米的工艺,厂商就是推荐直接采用Diode的ESD保护。
4 a( \4 m0 X2 r, \Diode到底好还是不好,大家可以进一步讨论。
17#
 樓主| 發表於 2009-1-22 13:30:20 | 只看該作者

回復 16# 的帖子

那就奇怪了/ ~$ `6 Q. J! a% A
我對標準IO 的了解不是很多,所以不知道它除了diode以外還有沒有其他的配套2 \, `* T# A( S3 r
Foundry給我們的ESD design rules都有提到,如果I/O 用diode 的話,一定要有power-clamp
; `0 b, V$ @* P8 ]  |' [而在我們的產品內,power clamp 的設計就是GTNMOS  D8 {, W- D* k! D6 J  g
8 {4 [; u" A% Q! ^/ q; \- z
[ 本帖最後由 ritafung 於 2009-1-22 01:42 PM 編輯 ]
18#
 樓主| 發表於 2009-1-22 13:40:34 | 只看該作者

回復 13# 的帖子

你的GCNMOS的電阻有沒有調效不同的電阻值?8 ~, R- g. q% |: ?- d( g
我們通常會先做一些test key,然後用TLP測試它的I-V curve而選出最小面積和最高It2值的T/K 來設計產品的ESD 保護電路* y6 i" u. f6 k8 _) v
如果沒有TLP,可直接用MKII機台打ESD
19#
發表於 2009-2-3 15:43:49 | 只看該作者
原帖由 ritafung 於 2009-1-22 13:40 發表
* |/ E# \: x+ @你的GCNMOS的電阻有沒有調效不同的電阻值?
  n1 v; {% S! p$ @& _8 R0 c1 x我們通常會先做一些test key,然後用TLP測試它的I-V curve而選出最小面積和最高It2值的T/K 來設計產品的ESD 保護電路7 ]( w9 l7 q$ C, \" _
如果沒有TLP,可直接用MKII機台打ESD

. O6 e; s' T5 `有调过的,在芯片级8k没有问题的,但是系统级就不行了。我们没有做TLP,自己倒是做了ESD TEST
20#
發表於 2010-11-29 18:48:26 | 只看該作者
System level ESD 與 Chip level ESD 是兩個完全不同的規範,Syetem ESD 也是模擬 Humam body model ,但是放電能量要比 Chip HBM 大了約 5.6 倍 ( 儲能電容不同,限流電阻不同 ),所以 Chip 要直接承受System ESD 的 15 KV,可說是難上加難,一般系統會用一些方法把能量導走,不要讓 ESD 進到 IC,或是加分立式保護元件,才可能過的了15KV。
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