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這是之前我對JDV的回覆, 貼在此處供您參考:. q+ g2 F+ M+ k8 ~' n
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Job View在我們公司 是RD跟 Device去做CHECK的- j9 j E0 c! v1 l
因為不可能整顆IC 每個 Pitch width spacing 都CHECK
! _: g7 l1 k* @, m所以只能用 隨機取樣的方式 做 CHECK, B9 h7 f$ f5 r6 p' Z
我認知的步驟如下:
$ J0 C* K, E$ G1 n7 c Q {4 j ~/ }& ^7 Q
1. Check Version Code 要確定 這層光罩 全部LAYER的 Version code都有出現, 如果有缺少
/ {* C% {" s& g9 m: d 就要跟FAB廠 comfirm 看看是不是本來就沒有放.
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: m, G; x* r5 G5 I! d% R* c- s9 s6 @2. 找一個 這層光罩 每個LAYER都有出現的地方 (為了便利性)6 F, X+ e( a) ^7 r6 ~
如果這是個 OPC LAYER 就要找 環境類似或重複性很高的地方去量 X-axis 與 Y-axis的 Pitch
- n% T, i2 w$ M0 i" k 如果不是OPC LAYOUT 就只要找 X-axis 與 Y-axis 的任一 width跟 spaing來量
4 @. z% x' o/ [: i; ] 選擇的 樣本數 越多 自然自己就會越心安 JOB Deck view 出包機率也會下降 (因為光罩很貴,你年薪都沒那麼多)7 _5 n0 A5 v3 i) S2 {% R
在這邊要特別注意, 如果這層光罩 有 L1+L2+L3+L4 你要盡量去量 Layer與Layer有重疊或鄰近地方的6 [2 B- o2 T# Z% ]& P0 v" l! Z
wdith, spacing 或 Pitch 才能夠順便CHECK 光罩有沒有在做OR運算的時候出錯
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! V6 b9 ?' H* ^, P2 W0 K3. 最後要確定 光罩有沒有 Shift- z2 d# u; t# c* O& n' a
把之前VIEW過的 光罩拿出來疊 看看 width,spacing ,pitch有沒有跑掉, X軸與Y軸都要看
* F; M) I" W ]6 ^; Q ?4 u2 ^$ f J3 O" |8 v4 W5 D% ?
4. 如果是改版的話, 就只要看兩個版本不一樣的地方, 還有疊起來是不是除了改的地方之外 是完全重合的: o7 h" h; b6 c. T8 A& w! y
9 A4 p+ X& N' e* \5. 如果這層光罩 有很多不同類型的地方, 比如 ESD IO Interface, PAD, Array, ....etc 3 M# K+ D5 J) y- a+ |9 e- {( u
為了保險起見 最好每個地方都重複 2-3的步驟 以確保萬無一失/ I' T! k! }" X# d" T$ @8 Y0 O) T
) B/ m! Q1 w$ `0 m: p7 c這是我所知道的CHECK方式,如果有遺漏的地方 也請其他好心的大大補充.$ \2 _) x0 [. Y( v( p3 U% r
0 I0 D4 x0 p9 D, c* b. @6 d YHCHANG |
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