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[問題求助] λ -base esign rules中有些規則不懂 想請教謝謝^^

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1#
發表於 2007-6-11 12:57:51 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
小妹我從唐經洲的書上看到其介紹!
: C; s; J9 v# A; |" v5 B' N9 @0 T而首先Mead&Conway只是提出λ基礎設計規則作者吧?
+ I# h/ a3 M! P5 ^7 P接著是書上寫的名詞規則有些不是很了解 ,在此提出麻煩大大們 提供意見謝謝^^
$ w' {+ C# l7 J& c------------------------------------
3 ~9 Z- L6 g! J規則/說明
' N0 M4 H/ d  `4 A& \$ m7 `Epd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為
) d. _8 ^8 K) X& v                 diffusion overlap而短路。
+ Z/ ~$ `; B8 S- J  H; C4 s------------------------------------
" n% |# I, N, ?8 t( G' s6 V8 g關於diffusion overlap 這點 不懂diffusion為何會部份重疊而短路? 因為畫layout view時 畫棵mos不就先畫好diffusion後再畫poly閘極等,但diffusion已畫好了 那來的第2個diffusion來讓它部份重疊而短路呢?  還是說poly畫上 形成了s及d的diffusion 而poly未超過diffusion的最小長度將使這2區的diffsion短路呢?; V, h  i% Y* e
-------------------------------------
7 q$ ]9 ~, I+ @; C名詞定義:
7 @' [$ P- r4 H. q# {i:implantation region  
8 o8 L5 o4 y8 q# Bimplantation region  這是畫mos有 畫到嗎? 這是什麼東西?implantation好像指摻雜區吧?
; `% O% b5 E, [2 Z-------------------------------------
/ P) I3 m3 j. ^3 O, NEmc>=1λ:contact hole 和包覆著洞外面的metal區的最小寬度& A# A0 D) w) F7 w3 `' K
------------------------------------) F. V$ I# Z) f% m2 E; |
上述規則是不是指包覆著洞外面的metal區從contact往外延伸的最小寬度呢?
1 j, i; ^; I! I) h, f# V------------------------------------% b7 o! G$ f! Q2 L* _
Opd=1λ:poly與diffusion對接成接觸的重疊寬度。通常poly與diffusion均作成4λ寬,兩者重疊1λ的寬度,在兩者之間開一個2λ寬、4λ長的4 a) n6 [2 [% g
              contact hole置於中間,而覆蓋於其上的metal為4λ寬、6λ長的metal。
$ I/ C2 T4 C0 a7 M) {-----------------------------------* J4 m0 D- W: |# G" Q8 r  i6 @- p3 N
上述規則介紹poly、diffusion、contact hole、metal的尺吋,但是業界每間公司都是用Mead&Conway提出λ基礎設計規則嗎?8 @: T$ A. @+ S# N
還有我是使用calibre驗証軟體,我曾開啟drc  command file來看 有看過這些規則如wd>=2λ  ,sdd>=3λ ,wp>=2λ等等,只是每間公司desing rule要求的線性尺吋λ的大小 應該與Mead&Conway提出λ基礎設計規則不同大小吧?# m* p7 p, G# m+ [; z
---------------------------------- N& i2 {; x, U) Q' V! Y' R, |  ]% R
還有我跑drc 出現的錯誤訊息看不懂,但訊息中有出現這些規則如wd>=2λ 等之類的訊息,於是我去開啟drc command file內容想看看裡面的設計規則,而我不會寫command file 所以也看不懂別人寫的內容,但是跑drc時除錯的錯誤訊息的內容 不都是撰寫drc command file時寫好各物質之間的距離、寬度 及不符合規則時要出現的錯誤文字訊息嗎?
% f' z/ l' e5 `1 }( M8 b所以我只要看的懂command file就能知drc的所有規則吧?
( u8 O( a- b  h: L+ C- r3 g簡單的就是問 如何看懂command file? 看的懂的話 那我跑drc、lvs時 的錯誤訊息 我就能清楚了解是那裡的錯誤 ,讓我方便很快的除錯。
' R) m/ Q6 }2 s' y! v+ f4 p是有書還是網站有介紹嗎?( ]# o$ C, S( s% u5 Q' J5 ^, C# I
--------------------------------------
7 t) ?3 t2 V7 K2 _' A8 }Eig>=1.5λ :implantation區需超出閘poly的最小長度。$ ^2 t( i7 d9 m$ i" m
--------------------------------------
1 q/ r  M$ N0 t# v" j上述規則的 implantation區 我沒看過 ,到底是什麼?
/ H* \  x% U! q  I- O  o2 w+ X5 I. k! O. O, M: ?$ O6 U8 v# Q
/ E; j- [7 ~! y; r9 m; S

  F. I# n8 {& A3 f" R麻煩大大們有空 協助解決小妹的問題  3q  ^^
4 k6 I, H  O. G7 Y! c1 Z4 }7 F1 [1 I
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-11 01:08 PM 編輯 ]
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2#
 樓主| 發表於 2007-6-11 21:18:27 | 只看該作者
還有一堆規局雖然寫各材質間的距離、寬度為多少λ?  但是λ只是個參數用以表示物質的線性大小,所以這與畫layout view時有關嗎?  因為畫layout時 不是都必須符合drc command file裡所設定的規則,否則跑drc就不會過了。
, w) j& ^8 q7 A1 w+ I1 [! [那麼書上的這些規則 在應用的實作上 到底是用在那阿?
# x6 J  V6 G* [+ {9 U希望有大大 願意回答小妹我那麼多的問題,因為才7個人看過我的文章 @@ 感恩><
3#
發表於 2007-6-11 23:16:13 | 只看該作者
λ -base 這是一個示意的 Design Rule, 也就是差不多的 rule, 相當的不經精確, 但是好備好記!
5 ?( A% O; m, c2 K/ q# }9 b/ z所以  RULE 就不需要被太多了!!
4#
發表於 2007-6-12 03:55:37 | 只看該作者
我不知道各家公司是如何運用λ參數來撰寫design rule$ z; N3 B! f+ }' s0 l! J
不過,我以前待過的公司是不寫λ參數的,因為,那是學術理論教學用的,它是讓你有一個概念知道各個參數的定義值是以那個作為標準( E4 J' j- U! o* ~' r) e
但,在實際情況裡,我們是直接用design rule來看待layout rule與command file" q0 @) h5 w, [; B! R
所以,只要照著design rule上面的定義來畫layout,就不會有問題
% a6 J0 |. @4 L$ A% m3 C; j# o而LVS,DRC,ERC等check都是依據design rule來定的,所以,有任何的錯誤訊息出現,都是因為layout上有某些地方違返了design rule" O. E+ p8 u6 M
所以,清楚且了解design rule上面的描述,對於在除錯會有很大的幫助4 r" x' B3 f. e5 f2 G
最後,design rule上面會有圖示標出各個rule的值的定義方式,當你遇到錯誤訊息時,首先先判讀錯誤的地方是在那裡,然後翻design rule看看裡面的rule值為何
5#
 樓主| 發表於 2007-6-12 06:40:52 | 只看該作者
謝謝2位大大的答覆,請問λ -base上定義許多規則分別多少λ  只是為了讓你看懂這名詞所代表那裡不符合design rule的意思嗎?1 a# T8 }) X6 U4 T: I
而design rule定義的內容不是都在DRC,LVS,ERC的command file並且在裡面也定義了 若跑這3樣6 o  ~- C8 g; E- D# ]: f9 G( O
check時 若有違反design rule 將出現什麼錯誤訊息,我的確主要目的是 想問 怎看定義>< 才方便除錯,請問關於design rule內定義的規則和錯誤訊息 的撰寫 都是固定語法嗎?還是有相關資訊有教你怎看這間公司design rule定義的內容? 像我作DRC  check都是直接看layout view上圖示標示那裡違反規則 再從錯誤訊息中看其要求所規定的最小長度或寬度,但我錯誤訊息只看的懂上面寫的數字其它都不懂,而作LVS check時 因為design rule定義更不了解 ,而跑LVS時除錯時 沒像DRC還有在layout view有圖示 直接清楚告訴你就是那裡錯誤要修改 所以 小妹我才請教是否有相關資訊教你怎看design rule定義的內容   ^^6 c7 u5 x# e. e- x
同時也謝謝2位的答覆   感恩^^

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6#
發表於 2007-6-12 21:13:14 | 只看該作者
我回答一下有關於LVS check3 y* c5 |8 P; ]* B
LVS check是檢查電路與layout兩者的差異
1 c6 i( R" B# P+ B如一: 電路中有一NMOS,W=5.05um,L=0.88um,而你在layout上故意畫個畫了一個NMOS,W=5.04um,L=0.88um,讓W少了0.01um,所以你在作LVS check時,就會出現電路和layout的size不符的錯誤訊息
; Y5 U. n0 }1 w4 g如二:原本電路上有一條線是要接到vdd,但你在layout上卻把它接到gnd,故而在作LVS check時也會出現電路和layout不符的錯誤訊息: P3 I. o, {+ J3 v6 `* x
因為layout是要畫出電路上的元件與各個接點接法,一旦layout並沒有完全畫出電路該有的接法與元件大小,那在作LVS check時就會出現錯誤訊息
: \9 |2 B+ T" o; X) U" _2 |6 {+ D; L+ S
所以,在畫layout時,一般的作法都是先畫一個小電路,然後作LVS check,確保小電路的LVS沒問題,然後再繼續畫其他的小電路7 r  V0 L' [) D$ H8 h$ L) D! @# O
如此一來,在作整個大電路的LVS check時,比較不會出現找不到LVS錯誤的地方在那- z% u# |. o; A' S7 \" c
當然.這是經驗談6 M8 Q+ g' k4 `1 C
試想一下,你要在50個元件的layout中找出一個LVS error,和如果你要在100個元件中的layout中要找出一個LVS error,那一個比較容易些: w5 u1 W; z& P9 v% c: u( K0 o
所以,一個很大的電路layout,通常LVS check會切割成好幾個小電路的LVS check,等到每個小電路的LVS都過了之後,再作完整電路的LVS check

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7#
 樓主| 發表於 2007-6-12 21:57:39 | 只看該作者
喔喔^^想請問一下您的業界經驗,因為畫的是vlsi 具有1000個邏輯閘、1000~1萬個元件,如此超大的電路畫layout view一定畫死人><9 D0 ~& q; [6 }0 J$ m3 ?4 T
是不是習慣上 先建好各基本邏輯閘和電子元件的schematic,symbol,layout view,然後作到DRC,LVS check就好 並存在library,當要開始畫設計工程師交給你的schematic為其建layout view時 才叫出已建好的邏輯閘 來方便畫?
0 ~! M) ~3 O0 ^而事先建好的電子元件和邏輯閘作到DRC,LVS check就可以了?
" a& O! K. Y" K我的想法大略只有這樣畫vlsi電路才較快 不然會畫死人 不知畫到民國幾年@@; M$ f  C* _8 _/ V* V8 Q" E( m
還有公司裡的cell library裡應該有先前的layout engineer早先建好的元件才對吧?1 \0 S; h5 m# j% d9 T2 J2 B0 Y

% N* J  l( o( C[ 本帖最後由 君婷 於 2007-6-12 09:58 PM 編輯 ]
8#
發表於 2007-6-12 22:42:20 | 只看該作者
現在的 logic circuit 很少用人畫了說!!
( t; t7 s: q* P* H$ O3 [現階段  都是用 APR 比較多!!!  而且 foundry 廠都會提供 cell library!: V( s) V8 Z7 C! a5 L  f' F- B+ I, V& `4 x
當然也有可能提供 MACRO cell 供 design hourse 使用!- n7 t$ s1 d9 _' o. g
0.35um  以上的製程,才有可能自己建 cell library!!
: A8 C! b' \# k6 `+ }/ I4 ~( u5 e- j6 L3 \5 I% }3 z: P. @
現在的數位 designer 也很少自建 schematic entry!
0 i' Q" q, c4 o9 ]9 G7 a0 E都是用 Verylog-L ........ 等等 tools, simulation, 合成, APR, .........
9#
 樓主| 發表於 2007-6-12 23:29:06 | 只看該作者
很多公司仍用0.35um以上的製程嗎?因為我學的正好是0.35的,而您介紹的verylog等tools應該是屬semi custom中分類在programmable device這一類 的tools 如FPGA、PLC等這些IC設計軟體且會自動幫你佈局拉線  設計者只要會寫程式就好 是吧^^
10#
發表於 2007-6-13 01:20:53 | 只看該作者
CIC 現在.35以下歸類為先進製程(真的有先進嘛= =?),反正差不多,不過數位的很少自己畫吧?都是直接auto placement吧?. u; Z% M5 X( v% g  j6 S( o
$ h+ U- w3 `% h
λ -base只是比較適用於製程的轉換,規範不同的λ,所以rule之間的關係沒變,只要改變λ就可以。現在還有人在上這個嘛....8 ?; u9 ~8 ?7 j. y* {

: o# Q6 G5 C; M還有類比跟數位那差很多的方式...妳如果要用verylog那就是tool要熟,不需要來看layout....也不用在電路元件上探討...當然是指基本的數位的,如果是特殊的比如memory那令當別論。反正就是verlog寫一寫然後轉一轉,只要跑個看有沒有timing不吻合的問題然後他就自己幫你弄到差不多了,沒人在那邊一條一條畫的。
+ }% F. `% Z+ J$ l& V+ q# G# I- H, V0 T/ i6 j- z
妳是不是搞混了數位跟類比.....這差很多捏...主要探討的項目也不太相同,數位著重在一件事情:right go the right thing!
6 n4 B8 G+ x  `0 T# ~6 I如果是VLSI那要看教學的人,我看大部分都偏數位,少部分偏類比。數位你只要不要弄到meta上面去,隨便弄不要太離譜都不會有什麼大問題,所以才可以使用這種自動佈線的方式。類比的那個可能WL差一些特性天差地遠,才會特別專注在layout跟元件上面的探討。數位的差一點反正我只要0跟1,準位差點那沒差別。我看數位好像都是套裝好的。你要memory就寫一寫他就生出一塊,然後就貼一貼拼個圖上去,然後要什麼就用tool弄一弄,貼一貼兜一兜,大該這樣就差不多了,這樣才能做的很大又很快。慢慢用手拉不僅沒意義(功能又沒比較好 做心酸)而且又浪費時間(時間=產品上市日期=金錢=公司生存率)。

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11#
發表於 2007-7-13 13:58:59 | 只看該作者

回復 #1 君婷 的帖子

關於你的問題:
* ^" r, o' t  m4 d0 Z; PEpd>=2λ:閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為diffusion overlap而短路。/ u: u1 e& H. ]2 J
9 ]% q. a* _  ^* e- l
其實是多慮了,這只是特殊情況,沒有人會犯這種錯  [; x. R. A0 _3 `
我們在畫MOS的時候不是會把poly覆蓋在diffusion上嗎?8 l7 B& h) ~0 k% J
其中的兩邊就是source跟drain,
5 a6 _  V2 `# N/ v, m0 A而poly跟diffusion覆蓋的區域就是gate  c' ~5 Z0 }+ i
這是無庸置疑的嘛~& a+ H0 g& T& T1 F) D* n
MOS一般的digital操作我們知道就是在gate上施加電壓以使其導通或截止( ]$ @. _3 x4 ]
書上寫的意思是說poly我們都會使它超過diffusion,3 c. i# U0 m. |
而超過多少則有design rule規範
! s  ^6 j% b7 ?8 Y如果今天poly的某一端沒有超過deffusion,
' p! P" ?% L  r* G. t8 f6 m, b也就是說poly並沒有整個把兩塊diffusion區隔開來, w, w# O& {; _- n8 {
這樣的話就沒有形成source跟drain; q9 X2 a3 }& U6 e( a
也就不算是一顆MOS,
3 p4 {* P7 J% d0 J4 ~6 B所以書上才會說兩端短路,是因為根本沒有區隔出source跟drain
2 Z4 A/ t4 P6 i/ Y
% C+ p( C4 z5 O( h: ?. R而λ只是一個單位符號,看看就好,2 W5 @1 c+ k: U. t
他只是為了要讓看書的人大概知道幾λ幾λ,( z# V. {- E8 S# z6 X7 B5 ]
這個rule跟那個rule大概的比值是多少,; B' }9 ]" G( j6 z2 ^- n4 E
所以不用太在意,畢竟每個process的rule都不一樣* F9 i- i* N- }& |; J0 c3 x1 {
所以書上為了不想表示成一個定值' L. z% u: b) f* r- v: y/ W
就用λ來表示,意思相信也是希望讀者不要認為它是個絕對的值
9 {) Y6 c! \: ]$ j- ~, e3 s5 E! V9 l, e; h: Z3 p6 K
從您的發問可以看出來您是位剛入門的同事  u  X) h# {* `
因此建議您書上的看看就好,design rule比較重要!
8 ~# X8 J2 t, k& D! t( I' N* c$ o! @+ N: \9 ~$ u
小弟的淺見!: N% I+ k2 N) Y; r/ p
如果有不對的地方還請指教~
1 x) s9 ?1 Z( u+ }, l5 [: w# t2 r5 j9 e8 H
[ 本帖最後由 vlsi5575 於 2007-7-13 02:06 PM 編輯 ]

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12#
 樓主| 發表於 2007-10-22 23:38:53 | 只看該作者
使用cadence tools學習至今 發生了一個很大的問題 即LVS的除錯訊息根本幾乎不太明白其所表達的意思,無法直接從訊息中直接了解 就是指電路那裡節點有誤。- k0 S( Z1 r5 v; e% J  O! G
LVS的除錯訊息有教學網站嗎?因為小妹認為除錯花最多時間的地方乃在於LVS 而DRC本身就會顯示那裡的佈局不符合規局,所以小妹現在為了LVS的除錯能力很頭疼。0 e5 F, E7 j( I1 b4 r% I
對於finster  副版主所提的LVS看法....+ w" ~5 W4 ]2 u. ?- H
小妹覺得將netlist與layout作 LVS比對時,netlist因為之前跑過pri-sim所以netlist本身一定正確,LVS有錯誤訊息 一定是Layout部份有畫錯。  K2 ]7 B7 x$ p8 b" d
假設layout的晶體寬度與電路的寬度不同 所出現的錯誤訊息 應該是表示電路寬度與layout不符吧?2 u. J' B* ]( @
而不是表示layout與電路寬度不符吧?+ k# {6 ?; K, ~: C! _+ M" v
不知小妹對LVS的想法是否正確? layout錯了 但除錯訊息卻都是表示netlist與layout不符 讓初學者以為是netlist錯了?$ C& M0 ~7 B  a( M' H6 v5 C
麻煩大大們提供LVS除錯經驗及是否有教學資訊     謝謝唷^^
13#
發表於 2007-10-23 13:01:16 | 只看該作者
不知您是使用哪一套軟體去跑LVS# P( _4 t; ~7 u3 R4 f* J
dracula還是calibre
( U$ l1 O  l9 z- E2 q% y( J一般來說circuit轉出來的netlist file很少會有錯的
+ n0 q* t# ?3 A# X您說的layout mos width 跟netlist 的不符  W* h" s9 h' m+ M) U" D
這不就是代表您所lay的mos有錯嗎?!
! f, U9 u7 o8 i; b/ t怎會想去netlist錯了 = =. q7 r" p5 D" r( n9 k: p4 u
總覺得您把LVS report所要表達的意思給誤解了2 P$ o: W* e3 I1 @) g
LVS除錯大多數都是靠經驗累積的
. B) I$ ]$ L* J* `+ O而初學者大多靠前輩帶著做學習debug的能力
# R- K- h+ c; k0 {- b倒是沒聽過有教學資訊
1 _& @' B4 j# f  X/ _或許改天請版主開個專門把LVS驗證出現的問題
+ C7 T9 x# ]" m$ |7 t集中在一起的版好了 ^O^
14#
 樓主| 發表於 2007-10-23 15:18:49 | 只看該作者
抱歉 我所用的是calibre   ( f! ]  V  h2 @# n# _
對於除錯訊息心裡的確認為不符部份 絕不會指netlist部份有誤,除非是後來schematic被修改過而忘了重轉一次netlist。8 k3 j  ^5 {, ~' G: Z/ t) ]7 x5 V8 R
假設layout檢查出有17個net s和netlist 有16個nets1 ]; |& E. {% y( [# C; W% D8 n
就表示可能layout有某處開路 難到不會有可能是短路嗎?6 ]5 o- l6 ~; ^0 Y6 P- M
2 ~; Y! B! n$ x- S2 D0 i
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets5 H1 `1 \* h- K* U4 g: T
表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?
% \# C, G# k8 E$ A) k: L/ M/ b. w% j: B
想請教calibre有沒很直接的指明就是layout處那裡開路或短路以及很清楚的說明就是那個一個點?      謝謝唷><
8 t, X4 Z  A$ ]' l5 `3 g- l; s- D8 S
小妹還想請教一下關於節點node在spice的定義,node指輸入端或輸出端的端點及2接腳以上連接在同一個點都算node吧...  l$ Q/ F, s) F2 l0 d
所以若2元件中有2接腳本來是連線在一起(只有一個node),若開路了 則在開路的2端也各算1個node於是變成2個node嗎? 謝謝
2 q9 o$ x1 a2 m6 i# ^4 R- r( P2 j4 H/ ]. [
[ 本帖最後由 君婷 於 2007-10-23 03:40 PM 編輯 ]
15#
發表於 2007-10-23 19:28:12 | 只看該作者
假設layout檢查出有16個net s和netlist 有17個nets8 W, C3 [8 i, B: s  b
表示可能layout有某處短路 難到不會有可能是開路嗎?: F, K- x" V7 z
Ans: 是的....不可能是open.....如果是open的話4 P* E, ^- }0 V+ C, Y9 S# q
         layout會多出一條net3 H4 R0 B' O- c4 T
ㄟ....不知道小妹您有沒有開啟RVE
' k& [) _( P1 y/ L( l; F$ G一般來說用RVE LVS來debug應該會很容易找到錯
, @8 ~! `5 [5 ?( A1 \除了power&ground的short比較難找之外
+ M0 [+ O% l# V# N+ l照理說應不難除錯唷 ^^
16#
發表於 2007-10-24 11:17:46 | 只看該作者
有些問題必須從半導體製程去解釋,比方說,2 Y; G0 {4 y* U* [( |+ A" U
=====================================================* P/ N2 J5 W3 J# |
Epd>=2λ  :閘poly需超過diffusion的最小長度。若不超過話,在diffusion  or  Implant  source/drain時,將使source/drain因為
2 O3 T9 c+ v) O& d9 n' t. u                 diffusion overlap而短路。' o9 d) R' N# ?* C2 _# H0 q+ g( H% ?
=====================================================; H! `8 ~# s% j/ F, ^: _' W3 H3 {" u
上述應該指的是endcap,如果layout上的poly是突出diff的,實際上製程廠做出來的型狀,是會往後縮,並且尾
% _1 L4 A8 H' _% H端呈圓弧狀,為了避免poly縮進diff中,而造成s跟d導通,所設定的rule.+ i9 o6 T+ c9 Q& l  ~
當然有些比較特殊的mos不在此限,比如說可變電容之類.
. O6 U" p$ j* s. G妳把poly也就是gate當成一個控制s跟d的開關,也就不難理解了,妳後面所說的diff短路應該是指這個吧.
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