各位前輩大家好:- @. J1 ~/ j+ `$ }
小弟最近在使用UMC 0.18製程準備下線, , P" H$ T$ ?& k在跑DRC時卻一直出現以下的錯誤,7 n* K2 z) C5 u+ }' R* C8 l
4.1M --> Minimum DIFFUSION density over 500um x 500 um areas is 20% in % moved in 250um increments across the chip.' g: \9 ^& B& V7 _% d
將此錯誤highlight起來後,發現是M7發生錯誤,原先佈局設計是將M1利用M7保護,M1尺寸比M7還要小,& {3 j: a, M+ I8 E3 X% {$ p6 h- M6 }
在佈局時都有依照design rule來進行佈局,一直無法將此錯誤排除, 6 G& E @" t1 ?4 @想請問各位前輩以上錯誤是因為什麼所造成的?