請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
) q# i0 p) `+ z' Q; uX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

  ~4 s. s, U$ ~( ^/ R5x2y2z = 1p10M

台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
M2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
! S! y. m: D8 D. q
) N+ }! F9 c7 r7 j不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

9 v" M- P' W- u* k, T0 W0 H1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
) y! v7 T$ o' v# S; ~. ?. x詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

% I% h3 y/ X* t% `7 k9 J2 Y目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
& d5 D. N! z* g) _4 e如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
  \' c/ x: w* n1 w, zYZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
Y, YZ, Z都可當top metal?
  _2 ]" o+ G8 Q& G
Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
% ^! n* n+ V8 n, C& k7 l: e; Z
; \* B+ I( u! y# o! q* ^) b
% V. F: r% ~) C6 t* ]) y  e' J4 @

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大