請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
2 n0 x7 r3 |/ b* w* M3 E一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
/ N+ U+ w7 H; }/ T) Q; H/ H& PX/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

5x2y2z = 1p10M
3 P& D2 `* m4 ^
台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
; Y5 q% i5 l. d# P/ O) c2 L8 tM2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)

' X+ G. q1 @1 h% q2 ]不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同
" _, s8 e; k2 [# [- {2 v
1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
  n# @; w! F: t  j詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z

目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
& ?1 ]: [  k: i% DY, YZ, Z都可當top metal?
2 @& w! P2 v0 C9 c5 s2 L
7 A* J' F4 r% n5 c( W- k/ E1 gThanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
4 b, Z. i  }; |: q0 R; t* gI think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
; l5 A  e: C$ D0 U# ?$ I
* J5 E& b" J, U- z5 A

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大