請問 metal scheme 的意思 (ex: 5x2y2z??)

vincent_p0593

請教 foundry fab 所謂 metal scheme x/y/z 意指??
一般所謂 1P5M 即一層poly (transistor gate, maybe WSix or salicide, maybe single poly or dual poly), 五層金屬層(M1~M5, M5 thick)
X/Y/Z??

yytseng

回復 2# vincent_p0593

; W: h' e# Q" O: w5x2y2z = 1p10M

台積的metal定義中
M1 為預設 寬度厚度不得更改 其他客戶可根據自己需要選擇要出幾層metal 光罩..但是最上層必須要厚的....
$ Q: N* d  x8 u( K/ ?5 a8 h, vM2以上為 X 代表一倍厚度
M5 以上可用 Y (兩倍厚度) 或是 YZ ,或是 Z(四倍厚度)
* `- y! q  n, d: p0 A) y) N3 V% ~: d
不同的 metal 組合,有不同的 min pitch 以及對應的 RC 當然 DRC rule 也不同

% U& j9 }' N: w, B6 ~! X- `1p10m5x2y2z 代表 m2~m6為 X, m7,m8 為Y ; m9,m10為Z 如果有RDL (flip chip package bump route) 則還多一層 AP (鋁)
詳細的說明拿到台積的kits都有,客戶必須要透過正式管道才能拿到

vincent_p0593

自解 : 昨天 t 朋友打電話來順便求解
) j, K& p, M, x+ @, k5x2y2z 表示九層metal, M1~M5 用厚度1(薄), M6~M7用厚度2, M8~M9用厚度3(厚)
每個process node各有其定義的厚度給x,y,z
- f8 |; n$ G; X  z5 |
目前的了解,...歡迎補充.

vincent_p0593

了解所述, 感謝!
如果metal只有4層 這樣是否合規定 : 1p4m2x1y?
! X4 d& r, ?) n+ @YZ 代表三倍厚度? or customize 2~4倍
; S. e+ v" S2 B& W' z3 M7 M  K8 L* qY, YZ, Z都可當top metal?
1 ]& i" J) X) ~
Thanks in advance.

cmyangf

要看哪一個process ~~ 有些有提供Ｙ當top metal 的. 要把design rule翻出來看.

AnnLin

原來如此, 長知識了! 感謝!

lowstar

Wow
# w% V1 V5 i5 H0 Q) D3 @I think this is an important item for engineers work in foundry and IC Design house.
. j4 j" _: `8 X+ I! ?( H# V
- T: z/ ~1 {2 G0 d
3 \: i/ ]" N7 x: s( t. A

charlie0050

解了我心中的疑惑 謝謝大大
( @7 n9 Z/ L+ r3 O0 T$ W