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5#
樓主 |
發表於 2009-11-12 16:30:44
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* T! t5 W: v( F' C非常感谢你的回复,但我仍有一些问题请教:
- a3 x8 v1 d2 ?. w1.metal fuse和poly fuse同样都是开了窗口,在Layout里面的处理是加passivation OR CB OR PAD这一层,那么即使开了窗口(就是把fuse上的passivation刻蚀掉),但是metal fuse可以使用top metal,所以metal fuse上面不会有残留的passivation的,但是poly fuse不一样了,poly上面的oxide和passivation都很厚,足有几个um,那么这样的话,poly fuse上面覆盖了一层oxide能不能trim,还是poly fuse必须裸露出来(通过过刻蚀实现),才能trim。在这里我主要关心的是,fuse上面如果有很薄的一层oxide,能不能trim,fuse上面有oxide+passivation能不能trim?' n( e3 x9 L W! }
2.fuse和L-mark都需要开窗口,那么passivation应该overlap fuse(L-mark)多大,可否给我一个经验值,因为我拿到rule里面要球开窗口,但是没有具体的尺寸
9 Q/ w; X; e" z+ r( W3 ]5 g3.L-mark在rule里面可以只放一个,而且位置随意
$ Y/ D$ ?: x( Z$ f3 q3 k4.为了节省trim的时间,多个fuse的摆放,有没有什么特殊的要求,rule上面写到可以摆放在一排 |
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