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有一本書我覺得蠻不錯的) e% R8 A; ^. g( \' u
原文跟中文書都有 也是大部分技術學院大三大四
J/ ?! Z8 r1 f( I/ f! h9 N會使用的 半導體製程概論 教材
1 m' i" s" r G4 u' b) i" _1 ^看完這本再去看 莊達人的 VLSI 製造技術, 高立出版 ; L5 P; H. ~9 ?4 H
整個製程概論應該就會蠻了解 (莊達人這本跟施敏的半導體元件物理幾乎每個固態組的學生都會買)
& e) q' G) {' a. V z$ a% `* o8 t0 Z2 I8 g% D( t
Introduction to semiconductor manufacturing technology
O5 }4 Q+ i$ S3 R) ~半導體製程技術導論( |6 A2 ^* J2 V9 G9 i
原著 Hong Xiao
7 k, s! ]- v1 J |- Y( ~/ c: v譯者: 羅正忠 張鼎8 E$ ~3 N7 x) t" F8 Z4 l# \8 f
" `3 v. H4 n/ W* k
以下簡列書的目錄/ t2 A3 Q0 ~5 m
Ch1 導論* ~. x8 y) n7 i$ \- q
Ch2 積體電路生產的簡介
+ q" R& `, `5 V3 }2 ZCh3 半導體的基礎2 i+ o- S- A* X2 Z
Ch4 晶圓製造
" _. _. H+ @, J1 O. CCh5 加熱製程9 x+ ]5 E4 ?3 J4 D0 t' J, o: H- ^
Ch6 微影技術, }1 @: F P" ?
Ch7 電漿的基礎原理6 w" e: D9 @& W1 n% u
Ch8 離子佈植
3 s5 a' s2 h0 W* }) {% ~. D+ {Ch9 蝕刻
6 E0 ?' R4 y2 N4 XCh10 化學氣相沉積與介電質薄膜
! O3 i) s3 U* f5 G+ w( ~4 bCh11 金屬化製程6 x& c* H$ `; J
Ch12 化學機械研磨
* L, w4 W$ |# H# d- JCh13 製程整合
; v( n I. E; M* F5 o8 W# hCh14 CMOS製程
1 u# Q' W: S; S. @$ Y9 o
# J2 @9 s( ?4 g! w' s1 n& A5 v9 E這些都是基礎 到了公司學到的 不同公司的製程 對各個Layer的命名方式都會有所不同
& O( t: v: N) h學習這些基本理論的原因 是要培養 你對整個半導體 從最底層到最高層一個建構剖面圖的觀念
- ?5 Q$ D3 |' b9 Y# E用什麼製程技術產生Oxide做隔離 用什麼製程技術做成Channel ( k7 T: e+ p( o& a+ i" J# a
怎麼樣做出濃度不同的diffusion, 寄生BJT或Diode又是怎麼形成的等等 E' ? ^4 p Q9 J
7 x& O$ @' P7 H' z
在這邊比較可惜的是 以前的交大NDL有 半導體製程的教學網頁 會把0.35um的製程從第一個步驟介紹的最後一個步驟
, o2 R2 n7 k4 S2 |都是用動畫的方式來呈現 對當時還在唸大學的我非常有幫助, 不過現在好像找不到這個網頁了 殘念0 T# B" C! k( ]% B% c: ? l4 O9 l
+ j. t" n+ G- W5 J- r
[ 本帖最後由 yhchang 於 2008-2-4 10:49 PM 編輯 ] |
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