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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？
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[問題求助] 請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？

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1#
發表於 2008-11-21 11:33:06 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問MOS 製成中silicide 是做什麼用的？？8 i! |' u, o; {( ~
是如何形成？! @6 o& O, G5 i! g) C
作用是什麼ㄋ？？
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2#
發表於 2008-11-21 12:48:31 | 只看該作者
可以把它想成多一層 導電用物質9 k7 B! }# M2 ^& E; `, s- j: x
幫助導電 ,只會附著在 poly & diff 上- v+ ]4 m4 i- Y3 P1 O) h
會全面灑在晶圓上　如果　不想有( Z, J+ u. k! D; }+ ?6 k
的地方就用　ＲＰＯ(t) 或　ＳＡＢ　(u)
  w0 P! @- G" W: U/ v# j圍起來　那各地區　就會是　nonsilicide
4 F" j* o6 n( P阻值較高　通常用在　電阻　和　ＩＯ　ＣＥＬＬ　上

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hyseresis + 3 Good answer! 優質答案！

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3#
 樓主| 發表於 2008-11-21 13:07:20 | 只看該作者

回復 2# 的帖子

感謝！！原來如此阿!!
2 p8 Y' c  _1 C之前一直不是很清楚,是做什麼的！# n" |! |4 b2 j* K6 t+ |
現在了解囉
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jauylmz
4#
發表於 2008-12-1 17:31:30 | 只看該作者
延續 二樓的說明   - r  e/ X% k( C6 V
Silicide 又名 金屬矽化物  常用的幾種( TiSi2、NiSi、CoSi2、WSi2 )
( J1 A4 j% J2 X# g/ Q
1 g, F( }% }& V: G* U+ M記得以前還有Polycidce 只用在 Poly 上的
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