DRACULA 中的ATTRIBUTE CAP問題

comochen

各位好,
最近在參考Foundry的LPE command file對寄生參數的寫法時,對ATTRIBUTE  CAP的語法有些疑惑
依照Dracula Reference內ATTRIBUTE CAP章節內Case 4的定義如下
Case 4:
0 w- F+ x- P1 A" v! JPARASITIC CAP {subType} device_layer terminal_layer1 terminal_layer2
ATTRIBUTE CAP {subType} areaCoeff perimCoeff depthRange sidewallCoeff
9 Y8 I2 y+ T& f且參考此章節Example 4 中的例子
7 b6 X; D5 Z* ~, `, B6 V*OPERATION
' }2 F# _; f9 wPARASITIC   CAP[F]      M12 MET1 MET2
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.2 0.019 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
ATTRIBUTE   CAP[F]      0.5  1.2  0.6 0.032 ; PIECE-WISE COEFFICIENT
LEXTRACT NEWE M12 BY CAP[F] PFILE & ; FLEXIBLE EQUATION
# r! }- T, k, H/ X9 h% d" j$ h7 REQUATION C= 0.5*AREA +1.2*(PERI-TPR) + CLL
...
*END

其中(若以下解釋有錯請糾正我)
7 M+ E7 @% U1 \0 YareaCoeff為M12的單位面積寄生電容值(Ca)
- @+ M6 m0 Z6 m1 Z) y$ t" K% O1 DperimCoeff為M12的邊緣電容值
depthRange為M12距離MET1的距離
  P+ s* A3 r' [% s5 psidewallCoeff為不同距離區間下M12與MET1的Fringe電容值
' \  w1 {# {% X& D/ }" h* \  y
以下為我節取一段Foundry的LPE command
" |1 ?8 M( J5 R$ }- G# V: [   PARASITIC  CAP[A3]  M12      ME1       ME2      
1 h- L2 A; l8 b/ x   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.42  1.6709E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  0.966664  4.20651E-05
   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  1.51333  5.99823E-05
, E% k4 Y) Y: ]   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.06  7.1379E-05
3 B0 G0 r6 {% h' H   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  2.60666  7.83301E-05
9 A, q0 [0 \/ f8 Z) B0 v   ATTRIBUTE  CAP[A3]  3.871E-05 4.2267E-05  3.15334  8.2139E-05
* l9 @' T6 }: W為何ME1距離M12越遠Fringe電容值越大？
電容不是兩端越遠電容值越小嗎？
( r- R7 r  L1 a( M9 q0 o還是我根本就理解錯誤？
) z$ V$ u: L+ [" D懇請各位不吝指教,感謝!!感謝!!

jkchien

你對sidewall coeff理解有疑問，你的中文解釋和圖形例子有問題
0 f/ V0 d# i# G# g6 }3 o那張圖是用來說明case3 fringe coeff ，不是用來說明case 4
0 O, i/ J4 e" K9 Y5 Zcase 4是 除了原本的area and peri parameters，對sidewall-up或是sidewall-down作coeff 做出計算並且透過公式加總等效電容值