如何選擇ESD Device Contact Type？

CHIP321

近來遇到了由於Contact導致電流密度不一緻的問題。
6 J& W3 G  J2 e+ X, \查找了過去的一些Bipolar高壓片，發現很多使用的是長條矩形Cont或者Cont Ring，貌似應當有不錯的均勻性。
0 _2 a0 k8 X9 W$ Q# c但是咨詢了一些同仁，認爲 使用標準Cont Matrix會更均勻。、
迷惑中....
如果不考慮CMP製程限制，那種方法更有效些呢？

3 ?$ j- K4 s2 E$ M' I

sendow

這個問題也困擾我很久, 不知有前輩可以解答嗎?

個人經驗, 有些製程有效, 不過可能要考慮parasitic path,
有些製程則使用contact matrix即可, 還有要考慮processs能力,
有些製程slit contact可能form不好, 造成ESD robustness unstable,
這也是現實上要考量的.

9 B( R- f% n1 ]/ I一般而言如要高效能ESD ability還是選用ESD circuit來保護比較safe
不過有專利問題,這方面可能又要取捨了.