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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯 4 y, E0 D- o9 x( G: R3 P& b

, T# F8 ~( y9 T" h4 D各位前輩好- ^, K) L. E7 ~
. R8 ?8 A7 R$ Z  d4 Z* W6 o
小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見4 I- o5 \, p# B( T& R, [
: J9 u: V2 J8 G( X, z8 P
小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE
, o& A6 ~/ l: b' n6 {% z1 w$ E5 y$ G/ r: @/ g
在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL$ l- }7 `" ~* M2 c- A
& B' E# c, R  U& y( g% X+ _
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況1 [4 G& t* b( h1 V% L0 s

) L; K# ^: a' ]6 L8 v3 l+ \$ \% V" V1 K/ F. ^8 [/ D2 w2 A
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:% r, d. g' `4 ^8 |' m3 p

& n+ ~$ e& N6 n* K- U$ F1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
! w1 P# a3 A8 c/ e! M0 v: e; @. x8 \1 M
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件
' Y% n7 G3 X4 U" j$ F! G5 H( ?! S7 \4 L  x3 T
我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer/ o1 z5 @0 z' L4 k0 U7 G4 t% d* k
# s# x# N% j6 n; |6 ^8 j
3 n, B, O% g3 E& h6 T
( c; D* j# T- p9 o
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],
6 e3 k8 b2 p  N8 ]6 m& m0 h7 z) c% c$ I& [" g& ]8 f/ c0 T
一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
# ?2 W" h' U( P) Z8 D$ B3 y3 `$ u# @& W3 f% [% Q
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了. `( \. B. y) i$ x. d- I$ K4 |1 @* u

2 l  o& U! ^( @0 O7 @9 T3 ~
) R4 W' A7 o3 @6 D+ X0 D
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