) m5 T O* Y* [3 B 1 ?& O" |- [1 Q+ h0 D. A 首先感謝你的回答。/ `" X3 H3 \ f& F/ s/ O0 \: ?" u
& G: J: X+ o$ Z8 @這樣我又另外一個疑問,雖然有靜電釋放的過程,那麼天線效應爲什麽不會積累呢? $ c0 g @0 a) r5 D: w R J2 {, O F; {& U [6 m% W. I- R* g換句話說,到上層etch的時候,雖然暴露在外面的只有上層金屬,但是實際上下層有的是連接在一起的,那麼電荷會不斷的從上層積累到下層金屬中,從而產生天線效應。