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[問題求助] tsmc 0.18 BCD process 認不到 w/o salicide電阻

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1#
發表於 2023-10-6 00:00:20 | 顯示全部樓層 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最後由 weilun_1016 於 2023-10-6 12:29 AM 編輯
3 T) ^. f& A9 r5 T5 v
* ^* B; g5 E$ S+ C8 k各位前輩好
1 X& @  G( n  o  _) S; Z9 P! s1 X7 f$ m+ R$ I
小弟最近在畫layout碰到一個問題,遲遲無法解決,因此想上來詢問各位前輩的意見$ J5 p: [3 a6 @+ F3 h( D1 @+ r3 @

+ X1 J$ @9 f4 U小弟用的製程是 TSMC 0.18UM CMOS HV MIXED SIGNAL BASED BCD GEN2 SALICIDE9 I  {4 y/ w6 F$ [/ n0 H$ }

( i- V, \; d% _2 e! s在畫layout時有使用到 P+ Poly resistor w/o Silicide的電阻,而且都是直接用tsmc他們的PCELL7 Y% \# Y! ~8 }  S0 g
/ A( g! t& v+ r4 R) {
但跑LVS時,layout轉出來的netlist檔卻沒有這個電阻,所以一直有missing instance的情況' b7 o! W5 I- ~) I, z  P. h

) }$ C! \9 }4 C" ]& o$ `! c/ P/ b- `" P
以下有幾點我有先確認過,因此才推測是不是layout認不到w/o Silicide類型的電阻:
3 V- H) t6 n0 ~; J
2 \2 h5 K& i! D) G$ r1.用w/o Silicide的電阻時,跑LVS時,layout端會有missing instance的情況;一旦改成w/i Silicide的電阻時,LVS即可通過→排除接線問題
+ \, P) J& u7 }9 B  P2 U! F2 ]0 j3 q" Z. U, l  g
2.在layout中將所有PCELL內所有w/o Silicide的電阻叫出來,跑LVS時,layout端都不會有Unmatched的元件4 [! O5 K# \1 z: C- a
: U0 `* }- d1 @, X7 ~. d4 `! B
我也有去看LVS Rule的檔案,知道這兩種電阻只差在有沒有RPO Layer (Non-salicide OD Area Definition),也確認PCELL內都包含了應該有的Layer9 I' E, c7 I# v* x1 j# \
3 |* _' s6 [2 M$ x3 |, V1 O

! j- ?- M$ e1 m! K* L7 q1 }+ V  I4 n/ Y4 f: m" p
若是自己按照LVS Rule定義的layer去畫電阻,就會變成在還沒覆蓋RPO Layer時,layout認的到它是w/i Silicide的電阻[PS],
' l. M* L6 Z% ?- ~" [/ M1 t) ]7 o2 h$ N
一旦在原有w/i Silicide的電阻覆蓋RPO Layer,就missing instance了。
0 x3 v5 C) }1 D/ j) O- q8 t# B# I; M1 W: L  B: y
請各位有經驗的前輩能提點一下小弟,要怎麼解決這個問題,已經被困了好幾天了
0 f! M9 q. W' f; z; K, i7 \7 c% W6 ^0 p- T: {" u3 K
8 @+ g  Q  a6 m5 x( t
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