Cyber​​Optics於SEMICON Korea展出下一代空氣粒子傳感器和MRS傳感器 ...

全球領先的高精度3D傳感技術解決方案開發商和製造商CyberOptics®公司宣布將於1月23日~25日在南韓首爾舉辦的SEMICON Korea展會期間，展示其下一代Airborne Particle Sensor™技術(AP33)300mm，以及新的ParticleSpectrum™軟體。

Cyber​​Optics的WaferSense®APS3可快速監控，識別並實現半導體工藝設備和自動化物料處理系統中空氣傳播顆粒的實時故障排除。無線設備可加快設備認證，縮短設備維護計劃並降低設備費用。APS3現在採用更薄更輕的外形，可輕鬆通過半導體工具，具有領先的精度和靈敏度。

APS3解決方案包括ParticleSpectrum軟件 - 具有用戶友好功能的觸摸式界面，可以輕鬆讀取，記錄和查看來自多個設備的小型到大型機載粒子數據。輕鬆識別顆粒的起源和位置，並實時查看清潔，調整和修復的效果。

APS設備被公認為世界上最有效和最有效的無線空氣傳播顆粒傳感器，並被證明是最著名的方法（BKM），已經證明可以帶來顯著的效益。與傳統的表面掃描晶圓方法相比，半導體工廠已經認識到節省高達90％的時間，降低95％的成本和高達20倍的吞吐量，同時減少一半的勞動力。

在SEMICON上，Cyber​​Optics還將展示專有的3D超高分辨率多反射抑制（MRS）傳感器技術，該技術能夠精確識別和抑制由閃亮組件和表面引起的反射。有效抑制多次反射對於高精度測量至關重要。MRS傳感器具有無與倫比的精度和速度組合，廣泛用於SMT，計量和半導體市場的檢測和測量。這種用於後端檢測應用的最佳超高分辨率技術非常適用於需要最高精度的IC封裝，晶圓凸點檢測和中端半導體應用。