設計interdigital capacitor

finster

建議你在使用公式計算時,一定要參考製程廠所提供的design rule來計算
因為若是用metal to metal的寄生電容,每一家的製程廠的metal的寄生電容都不一樣,而且不同層的metal to metal也不一樣
若沒有參考design rule,所計算出來的寄生電容的差距會頗大的
$ i3 M1 e+ u0 D* P- {! L7 K而且,還要考慮到mask誤差的問題
另外,若很疑惑所計算出來的寄生電容值,建議你可以先用layout畫一個metal to metal 電容的cell,然後再抽LPE,看看所計算出來的寄生電容和筆算的誤差有多少,如此一來可以更精確地知道差距