吉時利推出實驗室級手持式射頻功率量測儀

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臺北訊 – 2011年4月15日 –先進電子量測方案的世界級領導廠商吉時利儀器公司日前推出2600A SourceMeter®系列的最新產品Model 2651A高功率系統電源電錶。2651A專為高功率電子的特性分析而設計，提供業界最寬的電流應用範圍。此應用範圍對各種研發、可靠度和生產測試應用至為關鍵，例如測試高亮度LED (HBLED)、功率半導體、DC-DC轉換器、電池，以及其他高功率材料、元件、模組和零件。
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* H" I% q, ?4 [1 b: V與2600A系列的產品成員相同，2651A具備高度彈性、四象限電壓源和電流源/負載，以及組合精密電壓和電流錶。該電源電錶在單個全尺寸機架中組合了多種儀器功能：包括半導體特性分析儀、精密電源、真正電流源、數位多功能電錶、任意波形產生器、電壓或電流脈衝產生器、電子負載、觸發控制器；除此之外，還可透過吉時利的TSP-Link®技術、完全擴展為多通道同步系統。與競爭者產品的有限功率、量測速度和/或解析度能力不同，2651A可輸出或汲入高達2,000W脈衝功率(±40V，±50A)或200W直流功率(±10V@±20A、±20V@±10A、±40V@±5A)。該數位電源電錶同時能以高達每微秒讀取一次的速度，實現小至1pA和100μV訊號的精密量測。

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兩種量測模式：數位化或積分

2651A提供數位元化或積分量測模式選擇，進行暫態和穩定行為的特性分析。兩個獨立類比轉數位(A/D)轉換器定義每種模式—一個用於電流，另一個用於電壓，可同時精準地重複(readback)電源輸出，而不影響測試效率。  

  @5 D: V: ]! ?5 L數位元化量測模式的18位元元A/D轉換器能夠以每微秒一點進行連續取樣，每秒可量測多達1百萬筆讀值，使其成為波形擷取和高精密暫態特性量測的最佳選擇。而競爭者所提供的方案則必須藉由對多個讀值進行平均來產生一個量測值，無法量測暫態特性。  

積分量測模式是基於22位元元A/D轉換器，使儀器在進行需要最高可能量測準確度和解析度的應用中，達到最佳的運作性能。因此就連常見於新一代元件中的極小電流和電壓，也能精確量測。全部2600A系列儀器均提供積分量測運作模式。

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寬廣動態範圍能因應更廣泛的應用

透過TSP-Link並連兩台2651A，可將系統的電流範圍從50A提昇到100A。這比競爭者的最佳方案高出兩倍半到五倍。兩台串聯時，電壓範圍從40V提高到80V。包含於全系列2600A系列儀器中的嵌入式測試腳本處理器(TSP®)讓使用者將多個單元整合作為單台儀器使用，進而簡化測試運作。2651A的內建觸發控制器能夠讓所有連接的通道在500奈秒內同步運作；2651A的這些能力提供業界所需最寬廣的的動態範圍，適合於各種大電流、大功率的測試應用，包括：
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, d- i7 n5 F5 w1 T3 m+ `) L功率半導體、高亮度LED(HBLED)與光元件特性分析和測試
5 P: `) T% f- v8 c& zGaN、SiC及其它複合材料和元件的特性分析
' B/ d; T6 Y0 J半導體介面溫度特性分析
可靠度測試
! V) e* k! `8 J, A, D1 T* ?高速、高精度數位化
2 S5 O" t& B# q) w' w2 L. x, @電致遷移現象(Electromigration)研究

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高速脈衝避免測試元件自熱
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自熱效應是進行高功率半導體和材料測試時普遍會產生的問題，為瞭解決此問題，2651A提供高速脈衝能力，讓客戶能精確地偵測並量度脈衝。可程式化脈衝寬度從100μs至DC，工作週期則從1%到100%。而競爭對手所提供的方案，通常受制於儀器工作週期，因此彈性較為不足。

" {% y9 [2 x' J5 U9 g- B' \強大的測試腳本開發工具
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吉時利LXI型I-V測試軟體的TSP Express內嵌於儀器中，無需額外安裝、設定軟體。無論是基本或是高階測試，TSP Express皆可透過三個簡單步驟—包括連接、配置和擷取—輕鬆獲得元件測試資料。此外，也簡化了連接儀器的工作，以因應高脈衝位準的應用。測試結果可以圖形或表格型式呈現，然後輸出到.csv格式檔案，以應用於電子表格軟體。另外還提供兩款用於建立測試程式的強大軟體工具；Test Script Builder應用軟體提供TSP腳本的建立、修改、除錯、執行和管理功能，IVI型的LabView®驅動程式則簡化2651A整合到LabView測試程式的工作。

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) {% n* ?( u# r, n+ S臺北訊 – 2011年4月15日 – 先進電子量測方案的世界級領導廠商吉時利儀器公司推出針對S530參數測試系統的數個更新；S530參數測試系統目前廣泛用於半導體產業，為一最具成本效益的全自動生產參數測試解決方案。這些更新包括增加吉時利最新的高處理量切換主機(switch mainframe)、協助完整切換訊號，實現更佳的低阻抗量測準確性的探針卡全系列凱文四線式量測法，保護靈敏系統儀器免受高壓損壞的新硬體防護模組，以及一個完整的探針系統規格和診斷工具組合。
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; |8 x8 ]6 _( iS530系統被設計為可應用在生產參數測試環境中各式產品組合、或是廣泛應用的彈性和測試開發的速度尤其重要的地方。S530測試系統所採用的成熟電源量測技術和高傳真訊號通道(high fidelity signal pathways)，確保其領先業界的量測準確度和可重複性。

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兩款功能強大的參數測試配置
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% M7 C- [2 L4 \- [目前有兩款不同的S530系統可供選擇：低電流量測版本是針對次臨界漏電流(sub-threshold leakage)、閘極漏電流(gate leakage)等特性量測；高電壓版本是提供氮化鎵、碳化矽和矽 LDMOS功率元件所要求的崩潰及洩漏測試(breakdown and leakage test)。S530低電流系統(具有2至8 個SMU通道)提供sub-picoamp量測解析度和到探針端所有路徑的低電流防漏機制。S530高壓系統(具有3至7 個SMU通道)包含一台電源量測單元(SMU)，在20mA下可輸出高達1000V(最大功率20W)功率。S530系統經適當配置，可達成製程控制監控、製程可靠性監控及元件特性分析中所需的所有直流和C-V量測應用。

高度混合訊號測試環境中的成本最佳化

9 g) J% D& c* L% V0 Z3 WS530參數測試系統旨在加速並簡化晶圓測試和測試計畫的制定，在整個測試專案過程中能即時回報狀態給工程人員。例如，控制S530系統的自動化特性分析套件(ACS)軟體，在不影響全自動模式的測試同時，還可互動式開發測試新的測試腳本，以提高開發測試專案的效率。ACS也提供了離線測試和測試結果的分析。

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功能強大的ACS軟體

9 _1 \! ~! h4 f% t8 W1 }4 S. nS530系統採用功能強大、被廣泛應用在吉時利其他通過驗證的測試系統中的ACS 4.3版軟體。其可提高產品於實驗室的量測準確度，協助產品量產時維持一貫品質(lab-to-fab correlation)，並加速系統學習。 ACS結合自動參數測試所需的所有元素於單一整合套件中，以優化S530系統的效率和彈性。
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) R. }+ q8 _+ Z; A( g業界功能最強大的高電壓參數測試系統
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所有的S530系統都配備高功率SMU，可在200V和20V範圍內提供高達20W的輸出或汲入能力，對當今可攜式設備內所採用的高功率元件和電路進行完整的特性分析。無論是LDMOS矽或氮化鎵電晶體測試應用，這種更高的輸出功率能力提供了對元件性能更強的檢視能力；它還確保 S530系統能夠在測試高功率元件的同時，仍維持主要元件量測過程所需的低電流sub-picoamp的靈敏度。S530高電壓系統是目前唯一可提供1KV到高達32接腳探針卡的參數測試儀。這允許在單一通道上進行高電壓和低電流的靈敏度量測，以實現高功率元件的準確特性分析。該系統的高電壓SMU可在20mA下輸出高達1000V(最大功率20W)。

4 C/ k: ~* S8 b3 ]高傳真訊號通道確保更完整的量測

4 `1 y- G% ^* u& R9 {; B, C( f每台S530測試系統採用了高性能的矩陣開關和高傳真訊號通道，在儀器和測試接腳之間傳遞訊號。這些通道的性能在較高電流和電壓範圍的設定，以及因偏移電流限制小訊號的量測，均會直接影響到測試系統的整體性能。S530有八個高傳真通道，可以動態地進行儀器與測試接腳之間的轉接。例如，高達八個SMU可同時被接通到任何測試接腳(或數個測試接腳)。低電流系統提供八個通道一致的高傳真性能，高電壓系統提供了兩個高電壓/低漏電通路，四個通用通道以及兩個C-V量測通道。這兩款系統都可進行高達2MHz的C-V量測。

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建立在成熟的SMU技術上
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S530參數測試系統所使用的電源量測單元(SMU)奠基於吉時利經合格認證的儀器技術上，確保高度的量測準確性和可重複性，同時協助延長硬體壽命。SMU是四象限電源，可以輸出或汲入電流或電壓。除了精確地量測電流源電路，更協助規範可量測範圍(Compliance)的能力，有助於在待測元件崩潰時，保護元件和探針免受損害。每個 SMU可在電源輸出下，進行電壓和電流的量測，其可確保參數計算結果是反映實際情況，而不只是簡單地依據程式所設定的條件。

電容-電壓(C-V)測試單元選項

! I" @+ x2 J9 j5 s( ~所有的S530系統可以配備高速電容電錶對任何接腳，進行高達2MHz的C-V量測。此C-V量測單元在1MHz下量測10pF電容，可達到3％的準確性。
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生產品質保證
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$ p7 z5 ^( F/ b1 [' W* H3 sS530參數測試系統業經品質認證，包括內建的診斷功能、探針卡的系統規格以及符合業界標準，如CE、SemiS2和S8。ACS的「命令列」控制介面簡化了使用者操作介面、簡化與工廠自動主機控制器的整合。