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建立在成熟的SMU技術上
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6 o1 Q7 K! d3 ]; ~+ @S530參數測試系統所使用的電源量測單元(SMU)奠基於吉時利經合格認證的儀器技術上,確保高度的量測準確性和可重複性,同時協助延長硬體壽命。SMU是四象限電源,可以輸出或汲入電流或電壓。除了精確地量測電流源電路,更協助規範可量測範圍(Compliance)的能力,有助於在待測元件崩潰時,保護元件和探針免受損害。每個 SMU可在電源輸出下,進行電壓和電流的量測,其可確保參數計算結果是反映實際情況,而不只是簡單地依據程式所設定的條件。2 J: n/ S- f" {5 [% k
6 m* `3 Q+ H, b" z. ^電容-電壓(C-V)測試單元選項
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1 s; N2 ]+ |2 X! w5 _所有的S530系統可以配備高速電容電錶對任何接腳,進行高達2MHz的C-V量測。此C-V量測單元在1MHz下量測10pF電容,可達到3%的準確性。
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) k7 r% ^, Z7 k. s, t" F$ w生產品質保證' N: h) x. z" I
- f# L6 U2 e9 P! t V$ l0 H7 c( PS530參數測試系統業經品質認證,包括內建的診斷功能、探針卡的系統規格以及符合業界標準,如CE、SemiS2和S8。ACS的「命令列」控制介面簡化了使用者操作介面、簡化與工廠自動主機控制器的整合。 |
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