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修整電阻
各位板上前輩,
: H3 U5 d' {* i) D# j( G我之前在fab工作 現在在讀書
% x8 Y5 S( G& s1 Z6 _6 V做類比線路的教授正在教DAC, 提到R2R ladder的電阻 需要阻值相當精準
! ^7 H/ v7 ]" d& k# y1 D8 @所以他問我 製程中如何控制阻值 ( U# ^( M* |. {8 ~# V
我所知道的電阻 是用poly silicon做的 同道光罩 同道蝕刻 同樣的implant 在同一個die裡幾乎不可能阻值不一樣
4 s/ o, n2 d+ ?! ~後來才知道 他問的是laser trimming 這我就不了解了 應該是封裝測試廠在做的事情吧" E* v% w$ G$ z, n- O, q8 l
我看了這個影片 大概知道那是怎麼一回事 但還是很多疑問5 T7 a! C( d6 p
http://video.yahoo.com:80/video/profile?sid=2906735&fr$ c4 K3 P ~8 P8 A
首先 這看起來是一顆一顆的 chip resistor 這方法有可能用在ic上修整電阻嗎?% g" ~ ?: N$ Q6 d2 e4 A
因為在fab出廠時 poly 早被密密麻麻的金屬線層層覆蓋 無法用雷射修整得到poly層吧 . S1 v! c; e# k7 X: m1 j ^
有可能細微調整熔掉一點點poly嗎?. v4 a6 d! f* A$ Q$ H' x
或者 難道這種產品用top metal做電阻 才能用雷射修整? 我沒看過這種產品 這樣的金屬電阻不會太小了嗎?
$ ~2 o# y' A8 H! ^) |1 E更何況 我認為用光罩做出來的 應該已經非常精準了 很難想像如同影片那般用雷射修 可以做得比光罩精準9 r1 J# j6 H6 ?4 B1 Q* }% n
所以 是否ic的雷射修整 頂多就是燒斷fuse這種讓它繞路這種方法 沒有細微修整電阻這種方法?7 x1 V1 p8 f" e% N# O; ]" Z
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煩請各位前輩回答 謝謝 |
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狗仔卡
發表於 2008-1-30 16:56:01
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