達思於 SEMICOM Taiwan揭櫫廢氣處理環保趨勢

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環保技術專家德商達思公司( DAS Environmental Expert GmbH  ) 日前成功地與國內半導體龍頭廠商台積電、聯電、旺宏及日月光等共同於本月3日至5日所舉辦的2014「SEMICON Taiwan國際半導體展」之“綠色製造永續館 “ 分享綠色環保願景。 DAS執行長暨總裁Dr. Horst Reichardt 特應邀來台開幕剪綵，而達思也於整個展會期間以“提升綠色製造競爭力 – 達思針對新製程材料的解決方案“ 主題進行每日專題演講，以相關的科技創新及前瞻環保視野獲得所有與會者正面肯定。

3 }* C% z  O. u5 s  U達思於半導體業界擁有超過20年的經驗，並已於全球銷售近5000台的廢氣處理設備，於歐洲、美國和亞洲所服務之客戶超過100家。達思台灣並自2010年起加入「SEMI高科技綠色製程委員會」 ，以共同提升台灣綠色競爭力為宗旨，共同協助台灣高科技產業因應永續發展的挑戰。本次受邀擔任”綠色製造永續館” 贊助商，再度突顯達思於半導體科技產業的重要性，以及該公司透過先進技術解決環境問題挑戰的卓越能力。

4 ~; U' D/ O: a7 Q# k達思台灣總經理沈森永表示：「持續於環保技術的開發，是台灣達思與客戶在先進技術中共同成長的唯一方式。身處21世紀，我們的任務是協助台灣元件製造廠提升其綠色製造競爭力。達思的承諾可從我們不斷開發環境解決方案看出，我們致力於提供創新技術，以協助客戶因應不斷變化的產業需求。達思非常榮幸能成為「綠色製造永續館」唯一獲邀贊助的供應商夥伴，並與台灣頂尖的半導體先進共同探討綠色永續的發展與未來。」
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- ?: m& f& }- X/ B( t% T( U達思於展會上所發表的專題演說，以「提升綠色製造競爭力 – 達思針對新製程材料的解決方案」 為主題，深入介紹了如何透過化學物質和材料的管理與效率、製程和設備管理，設備技術要求和可持續性和產品管理來實現符合環保、製程穩定性和可重複性，健康和安全的“先進廢氣排放”科技。

! U9 q: p' B7 W7 K8 v6 M同時，為因應新製程材料的挑戰，達思也針對III -V族半導體材料分享解決方案。在半導體前端製程中，若產生III-V族化合物可能導入有害殘留的CMP泥漿和沖洗水，而造成對於特殊廢氣處理程序的需求。達思從磊晶的廢氣處理、降低剩餘的細小灰塵和洗滌廢水等層面上，廣泛地分享了如何透過尖端廢氣處理技術因應各階段製程的挑戰，而引起現場與會者熱烈的迴響與關注。

7 x# j, e& {. \, f% K7 q國際半導體協會台灣區總裁曹世綸表示：「多年來，台灣達思已成為國際半導體協會及SEMI綠色製程委員會的最佳夥伴之一。達思與委員會成員分享了許多重要環保理念。我們很高興能擁有此合作夥伴，因為達思不僅具有綠色製程的理想與概念，也同時具備相關技術與能力來實現此一理想。我們很高興能邀請達思作為“綠色製造永續館 “的主要贊助商，也深信此業界領導者在展會中所發表的先進技術及趨勢洞見，已經為業界帶來深遠的影響。」