ESD 失效如何解決?

yuray12

Process: UMC 0.13um 1.2V/3.3V
# z9 x2 t3 |) `6 V4 ?使用faraday ESD I/O (spec 寫可pass HBM 2kV, MM 200V, CDM 500V)
" j6 t) l: T" E8 b9 V5 }" j目前情況：

, w" I& s" p/ V! Y; `HBM 2kV all pass，但所有 1.2V supply PIN(四五組，不同power domain)在做"VDD-VSS (+)(-) 的 MM200V" & "CDM 500V"測試都fail。其它組合都pass。有作初步FA分析，損傷似乎發生在內部電路而非ESD I/O 保護電路上，也就是說在保護電路未動作前，內路電路就受到破壞。

5 B% e2 s& m+ K6 B請問是否有前輩可以指導一下方向，不知道要如何解決。謝謝!!