MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
5 F4 W) Q* _9 B, J! O0 Z) Z畫的 每間蓋的layer 也不一樣
廠建好的 製程try過比較沒問題

自己寫一個spice  model  容值抓抓看
2 n  u% D+ B% q8 m( p. e! }
MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
可能任何工艺都有这个cap，
. i% M) }0 E  J. K4 d
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
3 j$ @% n& I2 P/ B# B1 ^; s# Y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614

- r: o" v  P: p; A- {) x, |# p
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.