MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
1 C/ v" m/ ], ^5 s" |/ S7 [畫的 每間蓋的layer 也不一樣
廠建好的 製程try過比較沒問題

自己寫一個spice  model  容值抓抓看

1 |. f  j0 }: H" C" n8 y& UMOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
, Q6 ?3 p0 p7 Q可能任何工艺都有这个cap，
0 v( i! m8 k  R% \: `
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
; r, }9 p6 Q9 h+ I7 J4 C8 J( Y由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614

7 _0 o3 w* v8 g( J+ {# Z
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
) l- f& C" A5 b5 q2 @/ c    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.