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[問題求助] MOM電容佈法

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發表於 2014-1-23 00:05:38 | 顯示全部樓層 |閱讀模式
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
發表於 2014-5-21 17:51:39 | 顯示全部樓層
有 froundy  kit 就用5 j* g7 R8 P% ?1 n7 k
畫的 每間蓋的layer 也不一樣
( n/ T7 U7 t* w2 s6 E) {廠建好的 製程try過比較沒問題
. |1 D( J6 T1 D3 F  L& {' v
" F$ \; m* E- [; w4 G/ O: }1 H自己寫一個spice  model  容值抓抓看  m4 h7 E3 X! L3 r

3 P4 n* B8 ?) u5 RMOM 是tsmc的说法: metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap,
" t6 s2 H, f' b/ O6 h可能任何工艺都有这个cap, ' C/ |: R/ `( `1 ~( S/ H5 D

5 ?& K- K; y' B4 {# ]) i. A. cMIM : metal insulator metal, 这个在Analog、RF工艺里面才有,用来做 高精度的cap,
. ?: t" Q4 B1 b  |6 `3 u由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成,  logic工艺是不提供的,! M$ Y( u4 r; N6 {
MIM的2层metal 特别厚, 一般是下面的好几倍甚至是10几倍
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發表於 2014-1-23 14:18:05 | 顯示全部樓層
回復 1# r2583614 , s  {8 _) q# U

+ v* }- {' w* y9 j
# G+ j) n$ ]  A0 C; j    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
: V" ?7 c$ L# s! t, c# O0 i    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
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