MOM電容佈法

r2583614

有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???

l690527

有 froundy  kit 就用
: \3 i& I; q1 C+ Z% M! O畫的 每間蓋的layer 也不一樣
% ]4 |* U$ k5 D1 g" Q% z- _7 _廠建好的 製程try過比較沒問題

3 a5 D2 G$ l) ^自己寫一個spice  model  容值抓抓看
/ W& j& J* T( n
% j6 S( }" M( R3 {MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
3 c) i. [) t, S3 w% H. w可能任何工艺都有这个cap，
* [- U: f4 t6 x% y5 J0 ~4 c- k$ H
MIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
MIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍

beverly_tseng

回復 1# r2583614

. D6 u$ i: z% ?* Y) U
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.