關於LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu疑問

layoutarthur824

我在手冊上看到LAYOUT METAL的M1.Mx.My.Mz.Mr.Mu
- C( t  J& C. @" I7 o. DM1好像是單指M1的話
' s; P# R7 E* j& ?: [) G3 c% y, I: s我一直以為Mx是M2、My是M3、Mz是M4以此類推....
, x' ^: u5 S2 X: _可是好像不是這樣耶...
可以請各位大大解惑一下那些層是什麼嗎??
) o0 [$ q& @1 q- s; o  N8 p  I

bowbow99

在下也看不出那些層是什麼！
不知道那些層在手冊裡彼此是什麼關係！

& I" K8 ~' P9 N, A1 {會不會其實是同一層,只是代表不同區塊（瞎猜的）

veteran

請直接查看foundry提供的DRM document.裡頭會有描述。

l690527

document
EX.
     28nm
     1P6M5X2Z0T1F2U

chengchishun

表示       metal        厚度