請教DRC Error (dummy) - NO.IND.M1.R 1

mrj0702

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2 g6 H, H. h" d各位好：
我是在學的大學生，接觸Layout的時間並不長，所以請各位多多包涵與指教。
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6 V: F. {  C& b4 M3 u我使用TSMC的PDK繪製了一個OP。
4 L5 i# N8 e& @+ }, ]8 r" Y0 a/ G! {" P
在下線申請的假錯列表中，有幾項DRC Error是不能忽略的。
1 u8 B- C+ q. t/ x7 h/ h3 F& Q& cDensity的錯誤(NO.IND.PO.R.3、NO.IND.M1.R1~M5.R1、UTM20K.R.1)

因為我不會使用輔助工具來自動填補，所以OP旁邊的Dummy(5um*5um)是自己手動補上的(範圍1mm*1mm)。
我試著將M1-M6/dum重疊，不過這些Dummy的錯誤依然無法去除。
我想我肯定是漏了其他金屬層的Dummy，所以這個DRC Error 才會無法去除。

% q3 E' q% e& O% Q$ v% G有前輩能夠指教如何自動填補Dummy？或者手動補Dummy需要那些金屬層？

glavine

那個錯誤是密度不夠 po密度要到14%
6 S6 Y6 N' P% k# o3 s' y其他m1~m6都要填佔整顆晶片的30%

ONLYFLYSKY

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4 G/ k! y' L5 v# a3 M" G要補，，因為是看整片WAFFER的面積，至少確保您的部份是OK的 ，所以後續CIC在補不足的部份不用補那麼大的面積，對他們來說是省時省事，也確保在補時不會動到下片的人的晶片，這是看空的部份來禣的。
' T( S" K) K! X4 N4 S& ?" V# X

不用補，因為是看整片WAFFER的面積，你的沒補，或許可以靠 其他人的來補償你不足的部份。--->等你出社會時跟其他業者搭BUS時，製程廠如果可以讓你忽略，也就是他們可以負責這部份。

mrj0702

謝謝兩位的回答，我已經補上並成功消除這些錯誤了。