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[問題求助] 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何?

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1#
發表於 2012-3-6 06:21:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位大大您們好!
" I/ g$ t# n9 K( Z6 v: t請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢?8 u  q' ~0 J  ^/ ]$ ~' O
謝謝!
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2#
發表於 2012-3-7 11:50:22 | 只看該作者
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 3 r9 h4 \5 V; Q& H/ c0 P
. ]4 t1 ]  Y# j2 }" a$ ~/ z
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。
* V- k1 G3 T6 Z" ^(如CMOS device or Field Oxide Device)' l2 f# S+ k/ y; G, ]1 g

' B% z3 F; \) c" B% H/ i4 z但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點,而後者常用" o/ M! O3 \2 h- v6 E* k5 V
在device之間的絕緣使用。
3#
 樓主| 發表於 2012-3-8 15:00:15 | 只看該作者
簡單明暸...6 M) y. `  S2 T! v9 C, b- C
謝謝大大的解答...! J; h9 F1 _4 c5 @1 q; t
讓小弟受益良多...
5 }1 E' F# W% V4 m! g& x5 [1 O感恩!
4#
發表於 2012-4-20 12:29:58 | 只看該作者
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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