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Chip123 科技應用創新平台»論壇 › Chip1 -- 基礎元件 › Layout設計討論區 › 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？ ...
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[問題求助] 請問 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 的功用為何？

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vic
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1#
發表於 2012-3-6 06:21:22 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
各位大大您們好！7 g) f9 g/ W( p' C
請問有人知道 Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) 在製程上的的功用為何呢？% A5 E/ y& W2 l4 t6 J' t/ i# ^
謝謝！
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despair
2#
發表於 2012-3-7 11:50:22 | 只看該作者
Gate Oxide 與 Field Oxide (FOX) $ C6 h9 E; C( _1 @  _! L
4 ~/ V* }' o- X& |0 {" E. L
不管前者或後者者都可以提供組成device的一個感應電極。. ^1 M: r6 w5 H! M) i
（如CMOS device or Field Oxide Device）
* T2 Q/ l. t9 ~6 x3 \, F) ^" e8 |, m
但前者較長使用在CMOS邏輯製程中MOS的Gate極點，而後者常用
" P, c" ^% r4 b, v" w. j% h在device之間的絕緣使用。
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vic
3#
 樓主| 發表於 2012-3-8 15:00:15 | 只看該作者
簡單明暸...) D. ]& T4 x4 E3 ~4 `2 F6 l
謝謝大大的解答...! V2 ^7 i5 z- L1 j  a
讓小弟受益良多...
3 P# ^9 H- ?! i1 Y' u( s感恩！
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klim
4#
發表於 2012-4-20 12:29:58 | 只看該作者
那請問, 若使用FOX其MASK layer要增加嗎?
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