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沒辦法畫圖, 大家聯想一下或者自己畫張圖,
1 M. V& `7 _: V& ~3 W- L! E: r' q/ E2 g* k3 ~% t0 f' j q2 l
舉例GGNMOS single device for HBM test/ U$ H2 e2 X7 ?, m8 p
only 2 pin (I/O and GND)
* j* n6 o# K0 l, {+ x/ a7 |4 V) n
3 b# V1 Z9 y/ x$ r* XGGNMOS (drain-I/O; source & gate & sub - GND)+ l- I$ F7 y8 Y7 H1 v9 ~. w4 p
記住ESD一個重要rule, drain contact spacing會放大,
7 X# _ E, O$ \' [+ c, B; `
( ~* R* s$ c9 Z2 y; |2 Y- J假設從drain(I/O)打正電壓, 因為cont rule有放大,HBM pass 3K
" d6 c6 U6 V1 ^$ N9 T! }7 `% Q* A4 y反之, 從GND打負電壓, source cont rule沒有放大, 所以HBM<2K
( x' J7 N N. e1 f8 O8 e8 k, R# W4 H* I0 F4 i/ O
這是最簡單的情況下說明了, 如果是circuit, path更多更複雜,
" R5 K. P. C6 T+ l! J8 e要考慮可能反過來打負電壓其實是沒有ESD bypass path~9 Z9 R. p1 Q. @
" X3 k! A) S6 ?# G x s- }
(這樣大家知道為何會有差異了嗎? 各位先進也可以提出其他看法) |
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