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沒辦法畫圖, 大家聯想一下或者自己畫張圖,7 ^: H+ k: F4 n8 h8 m+ I2 t, a
9 K, L& D% n2 r. L2 M$ ]9 l舉例GGNMOS single device for HBM test& v" d+ `/ @( A, L" J- Y F7 R3 |
only 2 pin (I/O and GND)
t+ g( ]/ i. z) q3 T/ I% M2 |4 e# ~* `6 ^/ n$ w
GGNMOS (drain-I/O; source & gate & sub - GND)' z' b. c( j. w8 s5 `6 t1 q, E
記住ESD一個重要rule, drain contact spacing會放大,
) ~7 \% t/ W) r: g. \7 J; F. O
& V% R+ i8 @* }: @( v5 {$ S% b- M假設從drain(I/O)打正電壓, 因為cont rule有放大,HBM pass 3K+ i. E% ~3 n" p! l! d4 s8 U: y
反之, 從GND打負電壓, source cont rule沒有放大, 所以HBM<2K/ O% I7 V3 T' t9 w: j
0 A. z, K5 H% _$ I
這是最簡單的情況下說明了, 如果是circuit, path更多更複雜, 2 g9 ]6 `: {9 s. @
要考慮可能反過來打負電壓其實是沒有ESD bypass path~
, m8 V$ U' \7 u
; a) E+ |7 E; x# k, t(這樣大家知道為何會有差異了嗎? 各位先進也可以提出其他看法) |
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