如何選擇ESD Device Contact Type？

sendow

這個問題也困擾我很久, 不知有前輩可以解答嗎?

個人經驗, 有些製程有效, 不過可能要考慮parasitic path,
有些製程則使用contact matrix即可, 還有要考慮processs能力,
0 w# l% |9 ~& q. w0 r" C6 w# p/ @有些製程slit contact可能form不好, 造成ESD robustness unstable,
3 R  M4 Y, Z) e8 Q6 A& ^( G! |# |/ \這也是現實上要考量的.
; M* t  a5 d2 ?
; x1 m! n. H- J- |/ b一般而言如要高效能ESD ability還是選用ESD circuit來保護比較safe
0 L- B/ g0 ~, P8 N" c+ O不過有專利問題,這方面可能又要取捨了.