Layout Design Rule Considerations：How to set up the Space of Rpoly？

MTK1019

1，FOX 比栅氧要厚，也就是 Etch的时候 接触面是要算立体的吧。FOX厚多少 宽度自然要加多少。
, C) f* t: T  |; I6 Z% u- q2，Rploy 是生长在场氧上（FOX），相对栅氧是不平整的。距离大“翘起”效应低一点。
个人的一点浅见，多多指教。