天線效應

terriours

會有啊，天線效應是指芯片在製作的過程中，導線上積累了大量無處釋放的電荷，積累到一定程度會將gate擊穿，然後泄放，這樣mos會被損壞。所以天線效應的發生出現在芯片中任何連在gate的線上。不知道我說沒說明白，希望能對你有幫助。

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回復 4# bernie820
! u8 O' D4 {8 N8 n' W. ^
哦，呵呵，不好意思

terriours

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3 B% u5 [  i! x5 P  |! ~之到原理後~~不知道有沒有任何有效的解法可以防止呢!!  謝謝 ...
sydjeffrey21345 發表於 2011-7-7 13:24

2 D: V3 z; i- P3 h7 h# e7 F) O: f解决天线效应有两个方法：
" [& l. Y5 y8 d, o! T方法一：在发生antenna effect的gate连线上进行“跳线”，所谓“跳线”就是将底层metal线换成高层的metal线。这样做的原理简单是：在process的過程中，每一個連接工藝步驟后都會進行一次靜電荷的 釋放，所以在metal上的靜電荷會被放掉，就杜絕了antenna effect的發生；
3 Z4 u- Z* U4 z7 |6 k; j方法二：也可以在連線上加一個對地反向偏執的diode，這樣在工藝製作過程中，就可以自動放電，並不是網上通常說的把這個反向diode擊穿放電，有時候這個反向diode的大小也是要考慮的。
基本上就是這樣的，希望能幫到你。
: A* x0 K$ N2 X- N3 R# y: I: g如上所述有錯誤，希望一起討論。