需要加 DUMMY 的時機是?

pph_cq

一般 metal dummy 是為製程考量, 尤其是窄線寬metal, 若沒有dummy metal 護著 CMP 容易over-polishing 而斷 ...
vincent_p0593 發表於 2010-4-30 09:45 AM

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1 C7 v# o* c1 C1 l( D    是不是意味着窄线跟宽metal之间要特别注意加上dummy metal呢？