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Design Flow 可參考附件
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模擬操作可下載CIC關於MEMS或的Analog的教學文件
7 ?5 B/ i/ Z$ W/ p3 H
4 {+ A- S5 E) x) J2 Y$ W電容部份要看你所使用的製程技術所提供的model file
5 L" y) a- g$ p: H; Y- t, V
2 k$ c3 } U& J支援哪種電容 一般有poly電容 metal電容 與 MOS電容 p/ V) q% a# X) }* _; g5 a- H
: P+ M. C2 E! t* R) jLayout 可參考 "The Art of Analog Layout" 一書
' J* d: N. n* i7 P5 S5 \+ o8 e. I: E
或CIC講義.
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