0.35製程pad的問題

yoyo20701

小弟最近為的下線~~遇到一個問題~~始終找不到錯誤~能否麻煩大大幫小弟解答一下~
小弟的pad在drc時出現錯誤~~但是它並不是所容許的錯誤~~
) c5 e5 U3 C( E) c而且小弟是用內建裡的整個pad(它幫我畫好的那種(總共有24個pad))
去跑drc的~~但它所出現的錯誤~並不是技術檔案所容許~~~~~~
錯誤如下:
        1.check OD.R.1.WARN-2 Resules
0 V# g# s- J: F6 b; N7 {         OD.R.1.WARN { @ OD without implant
          OD NOT IMP}
% r& x$ Z+ d" v5 Y# \) k; g         2.check M2.S.1.WARN-35 Resules
            M2.S.1 {@ M2 spacing < 0.50
           EXT M2 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}
& C* ^% \' k0 H# {- [; {4 K! ]          3.check M3.S.1.WARN-3 Resules
# m6 v9 d+ m, ~5 i8 ?               M3.S.1 {@ M3 spacing < 0.50
            EXT M3 < 0.50 ABUT<90 SINGULAR REGION}

6 l' E& A. m9 r              請大大幫解答~謝謝~

Shouwei

妳的2、3點所指的是
, P9 s4 u; H% n; |& Y6 s( N2. Metel2跟Metel2中間的最小間隔需要有0.5μm，可是您沒有達到(共有35處)
8 E; ~( v! X/ g( N+ G4 l( S" z4 C. y3. 同上(共3處)

$ z; ]* J9 y6 d: x第一點是說您的diffusion沒有離子值入區的樣子，小弟是沒遇過啦
: ]$ D+ {6 C2 s% c只是在想，會不會是您沒有畫出pmos或是nmos，可能要慢慢找一下

0 Y, v: H' L7 c/ ~! G; m9 I其實您可以直接點下去DRC上面所寫的座標
2 |- P: l5 n1 @$ b就可以看到了，到底是哪出了差錯；第1點就需要這樣慢慢Try了~
不過，您的文中沒有提到，有沒有就單純的core做驗證呢？如果有還會這樣的話
可能是pad沒有放得很好唷，在放pad時，要把grid調到0.01μm才會對得好，我的經驗@!@

7 d* k4 u, s  Z& ?0 `  P最近下線都要postsim囉，要記得跑一下@!@
最好是掛PAD上去再POSTSIM一次，這樣應該會比別人好過~

edengod

1.check OD.R.1.WARN-2 Resules5 h  E% X6 ~, E$ ~: E9 _
+ W( l6 S# y% t3 |9 }5 M' P. o         OD.R.1.WARN { @ OD without implant0 s7 r0 R9 b1 e7 o/ ]
          OD NOT IMP}3 N; C: S' y2 V' ?: T
% j" A* v6 L/ m# s有 diffusion 沒蓋到 implant  或 p/n implant 重疊(若是這樣 drc commfile 寫的不好)
) Q3 m0 e2 y8 R, b* z; z3 C2 l) O
6 m6 i4 w6 q" G% b2.3
Metel2/3 跟 Metel2/3 中間的最小間隔需要有0.5μm
- k- |: w1 B% ?# i. e或不是轉90度角.

yoyo20701

小弟找到那3個出錯的pad~單獨模擬那個pad~~結果有一個pad出現
& c/ w3 Z+ s/ e& ~- {4 I1.check M2.S.1.WARN-35跟3.check M3.S.1.WARN-3的錯~~另外2個pad各有1個
" S9 M+ r! |& D8 L* Ucheck OD.R.1.WARN-2 Resules~~~我是單獨跑的~~也不知道為什麼會出錯~
- h" e( M! H& D. m$ |而且~~萬大大一個問題~pad不是都cic畫好的~~我們不是只有引用而已嘛?為什麼只單獨跑就出錯~~而且還是不容許的錯~~麻煩大大幫解答一下~~謝謝

Shouwei

載新的來試試吧XD
@!@ 唯一能想的，不然妳就真的點drc上面說的座標，去看到底是哪裡出錯
唯有慢慢找了，因為小弟引用也沒有遇過

李寶容@FB

現在正再畫IO
1 x" w9 N$ ~4 w1 o0 w1 x/ a大家的回答都超有用的!!