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辛拓推出CINTILLIO設備 協助DRAM業者走出困境每小時可處理100片 減少75%製程段成本' u+ R6 m: @* B" J
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【新竹訊】DRAM價格不振,DRAM廠自救之道,除了減產,就是改善製程,降低成本,力抗不景氣的衝擊。 : X R; ~; S& N. e' w0 t
, ?9 w7 F6 S, P/ v' [0 b& u% wDRAM業者積極向68奈米以下銅製程技術推進,美商辛拓半導體(SEMITOOL)台灣分公司總經理朱林表示,在尺寸只有20um的PAD鍍上鋁,是DRAM生產的最後一道關鍵製程。一般的方式是採用光罩、PVD及去光阻,成本較高;若採用傳統的酸槽電鍍方式,成本及破片機率均高,價值數千美元的晶圓,容易有報廢的風險。
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SEMITOOL全新研發 CINTILLIO設備,搭配精密分析儀器與先進電鍍液,提供業界一個低成本、高良率的解決方案。該設備每小時可處理100片,具高穩定性的控制能力,成本比PVD製程大幅減少75%,且電鍍液的使用壽命比傳統的酸槽電鍍多三倍,若加上省下的破片損失,對解決目前DRAM業者的困境,幫助極大。 1 D' k8 @7 \# A) G' Z( i
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SEMITOOL成立29年,專精高階半導體設備,自製率高,極少外包。產品有清洗機(單片及批次)、銅製程電鍍機(ECD)、先進封裝製程電鍍機等,在專業領域建立權威地位。其ECD與美商應材的PVD與CMP配合,被市場視為是最佳組合,在DRAM及FLASH應用上具有領先市佔率。
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朱林說,亞洲是半導體業成長最快的市場,2003年,SEMITOOL 台灣區的業績為600萬美金,但五年內已有十倍成長;三年多前,他奉命於台灣及大陸成立分公司,服務據點分佈於上海、北京、新竹、林口及台南。這幾年,直營分公司的效益明顯浮現,亞洲的營運貢獻比已高達六成以上,台灣也佔三分之一比重。 ' R4 J" I; g, {7 _" O5 V
* I; ^: W& w9 T( [1 h/ V! v/ i4 \SEMITOOL今年營收預期達到2.5億美元,在過去的15個月裡,業績逐季連續呈現成長態勢,為業界僅見;朱林對於SEMITOOL 在兩岸市場的成長樂觀看待。 |
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