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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
大家好:0 z; |4 `1 h/ Q) C, B# L) U
) ^6 t% P* e% Y: D5 T; U2 ]
小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,
+ [+ }2 L% w# `2 \; e一般在做金屬導線連接時,
/ j* `& B  m/ R4 j- c$ \/ ^0 }應該是像圖一一樣,
  O: ^3 C3 H9 u& v. Zpolysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
* o9 n) `3 g1 A' V4 ]+ F; e利用Contact hole 將兩者連接起來,
9 Q* l! d8 B, a: c7 @. z8 {9 ZContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,9 u% E* Y2 L6 U- Q( n1 @
想請問各位前輩,/ K$ ^, T9 r6 U4 u  T& U& v. A: N
若以圖二這種方式連接,& c9 R$ X( n+ w7 c4 i
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,) w% D( C% F( G- g9 S# i
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,
0 b; W& [" @* z5 {: U! V讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,# f, D" t/ b7 W9 J' Y
這樣可以嗎?

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2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊
. ~; @0 |8 }* w& K: C翻翻一下製程設計手冊
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