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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |倒序瀏覽 |閱讀模式
大家好:) A# p) Z& v7 S, H/ ~

) s1 Z0 f& v4 \6 Y  M; P小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,& e$ j) Q! }: E# x# G
一般在做金屬導線連接時,# ~7 |5 s! \) U! |) {
應該是像圖一一樣,
, f; k6 M) L/ \2 Epolysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
: l: f& f2 P% X  Z9 F利用Contact hole 將兩者連接起來,
9 @6 F) b8 b) A( L3 UContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,
+ [* ~/ L0 E' g: F7 |想請問各位前輩,
" u' t9 e- r) n4 W若以圖二這種方式連接,
& ~6 \$ d# w7 [" H. v& Gpolysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,
; @% B! a/ K/ L1 K, Q再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,/ h& W; t; O3 H6 U7 b9 \5 v
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,7 X  I3 ^8 t5 F+ Z- p# r
這樣可以嗎?

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2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊
. m( }: t7 h( q; I) N翻翻一下製程設計手冊
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