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大家好:) A# p) Z& v7 S, H/ ~
) s1 Z0 f& v4 \6 Y M; P小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,& e$ j) Q! }: E# x# G
一般在做金屬導線連接時,# ~7 |5 s! \) U! |) {
應該是像圖一一樣,
, f; k6 M) L/ \2 Epolysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
: l: f& f2 P% X Z9 F利用Contact hole 將兩者連接起來,
9 @6 F) b8 b) A( L3 UContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,
+ [* ~/ L0 E' g: F7 |想請問各位前輩,
" u' t9 e- r) n4 W若以圖二這種方式連接,
& ~6 \$ d# w7 [" H. v& Gpolysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,
; @% B! a/ K/ L1 K, Q再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,/ h& W; t; O3 H6 U7 b9 \5 v
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,7 X I3 ^8 t5 F+ Z- p# r
這樣可以嗎? |
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