|
大家好:0 z; |4 `1 h/ Q) C, B# L) U
) ^6 t% P* e% Y: D5 T; U2 ]
小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,
+ [+ }2 L% w# `2 \; e一般在做金屬導線連接時,
/ j* `& B m/ R4 j- c$ \/ ^0 }應該是像圖一一樣,
O: ^3 C3 H9 u& v. Zpolysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
* o9 n) `3 g1 A' V4 ]+ F; e利用Contact hole 將兩者連接起來,
9 Q* l! d8 B, a: c7 @. z8 {9 ZContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,9 u% E* Y2 L6 U- Q( n1 @
想請問各位前輩,/ K$ ^, T9 r6 U4 u T& U& v. A: N
若以圖二這種方式連接,& c9 R$ X( n+ w7 c4 i
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,) w% D( C% F( G- g9 S# i
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,
0 b; W& [" @* z5 {: U! V讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,# f, D" t/ b7 W9 J' Y
這樣可以嗎? |
本帖子中包含更多資源
您需要 登錄 才可以下載或查看,沒有帳號?申請會員
x
|