7/4 CMOS/MEMS Sensor技術研討會

小朱仔

根據Yole Développement最新的MEMS慣性(inertial)元件市場研究報告預測，2006~2011年該市場年成長率將達13%。2005~2006年陀螺儀和加速度計市場成長了55%，達到2.32億美元，預計2006~2011年平均複合成長率為35%。矽麥克風代替傳統麥克風、矽振盪器代替石英振盪器以及三軸加速度計的應用成為最近幾年MEMS市場幾個顯著的進展。

然而，由於MEMS應用面極廣、且受限於結構的多樣化導致難以採用標準製程，成為MEMS產業發展過程中的一大瓶頸。隨著CMOS技術的不斷成熟，將前級放大和A/D等信號調理電路和微傳感器整合在一個晶片中成為可能，一些業界領先企業還開發出可完全用標準CMOS技術生產的MEMS產品，例如Freescale採用CMOS工藝生產加速度計，並已開發出新的CMOS壓力傳感器產品線；Akustica利用CMOS設備和MEMS代工廠生產出MEMS麥克風晶片。未來隨著MEMS產業與IC產業的加速融合，CMOS/MEMS標準工藝的出現將帶給MEMS產業更大的發展機會，提供國內IC設計公司另一產業契機。

有鑑於此，工研院南分院將積極整合國內企業成立『CMOS/MEMS研發聯盟』，並舉辦「CMOS/MEMS Sensor技術研討會」，邀請美國卡內基美隆大學(Carnegie Mellon University, CMU) Tamal Mukherjee教授主講CMOS/MEMS Sensor技術發展；工研院南分院微系統科技中心林靖淵博士、陳振頤博士以微麥克風為例，介紹CMOS/MEMS的元件設計與後製程。誠邀 聯盟會員及業界先進共同參與交流。

◆ 活動時間：96年7月4日(星期三)，AM8:30 ~ PM4:40

◆ 活動地點：工研院14館012室 (新竹縣竹東鎮中興路四段195號)

◆ 主辦單位：微電聲產業聯盟/ 工研院南分院微系統中心

◆ 活動議程：

08:30~09:00 報到
09:00~09:10 開幕致詞 何宗哲 主任/南分院微系統科技中心
09:10~10:00 CMOS/MEMS趨勢 王欽宏 經理/南分院微系統科技中心
10:00~10:20 會員交流 & 休息時間 (敬備茶點)
10:20~11:10 CMOS/MEMS微麥克風設計 陳振頤 博士/南分院微系統科技中心
11:10~12:00 CMOS/MEMS Post Process 林靖淵 經理/南分院微系統科技中心
12:00~13:20 午餐
13:20~14:50 Challenging of Read Out Circuit Design for MEMS Sensor Professor Tamal/ CMU, USA
14:50~15:10 會員交流 & 休息時間 (敬備茶點)
15:10~16:40 Lumped element model and verilog code for multi-physics simulation of Accelerometer Professor Tamal/ CMU, USA
16:40~ 自由討論 張平 特助/南分院微系統科技中心

◆費用：每人新台幣2,000元(含稅、講義與餐點)；微機電產業聯盟/微電聲產業聯盟會員二位免費(每家會員以二位為限，依報名優先順序為準)；AMPA/微系統暨奈米科技協會/微機電產業聯盟及微電聲聯盟會員第三位以上/工研院同仁（請附參加訓練申請單）每人優惠價新台幣1,600元。
◆繳費方式：電匯或郵寄即期支票/匯票。電匯戶名或支票抬頭：財團法人工業技術研究院。電匯銀行：土地銀行工研院分行　電匯帳號：156005000025 (請將收執聯傳真至微電聲產業聯盟簡佳慧小姐收)
◆洽詢窗口：簡佳慧小姐 電話：(06)384-7205 傳真：(06)384-7294 E-mail：juliachien@itri.org.tw
◆報名截止日期：95年6月30日，請儘早報名。