863重大專項北京晶片實現產業化 成本將節省1/3

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來源：北京晨報 王海亮  2006年10月08日 06:30
http://big5.ce.cn/cysc/ceit/ityj ... 61008_8854533.shtml
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3 s# g& @3 |' k+ x% T# I. k4 X: Q5 s    北京地區正在成為我國積體電路裝備製造業的龍頭。9月28日，晶片製造六大裝備中的兩種——刻蝕機和離子注入機的採購合同在北京簽訂，標誌著國產100奈米製造裝備初步實現了產業化，中國積體電路製造核心裝備由此取得歷史性突破。這一突破能使晶片成本降低，令百姓直接受惠。
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    一個家庭有100顆晶片

    “一個城市的普通家庭有約100顆晶片。”市工業促進局電子資訊產業發展處處長梁勝告訴記者。沒有晶片，我們看不了電視，用不了手機，聽不了MP3。沒有了小小的晶片，我們的生活將會完全變樣。
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    梁勝介紹說，晶片製造是一個複雜的過程，“生產一顆小晶片共有400多道工序，對精度要求極高，比如刻在晶片上的小槽，只有頭髮絲的1/1000那麼細。”  

   各環節中，門檻最高和影響成本最多的就是晶片的製造裝備。其中，刻蝕機和離子注入機兩種裝備則是生產線上的關鍵。

2 N3 K8 }: t, Y; j: ^' e& {    “以前，我國所有8英寸及以上水準的生產線上，沒有一台國產設備(8英寸指硅片的大小，硅片越大，效率越高，但對技術要求也越高)。”梁勝介紹說。此前的晶片製造裝備必須依靠國外，建一條晶片生產線，幾乎80%的投資是用於購買裝備。但國際上對出口中國的這類設備一直是嚴格控制的，而且即使賣給我國，也將昂貴的製造成本一併轉移過來。“如果有了自己生產的裝備，我們的成本要便宜三分之一。”

    縮短與國際先進水準距離

9 p' i  S5 s' ~0 i' ?     2002年11月，科技部同意北京市政府啟動“100nm高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機”項目。北京電子控股公司聯合清華大學、北京大學、中科院、七星集團等股東組建北方微電子公司，承擔等離子刻蝕機的研發任務。中國電子科技集團聯合48所、45所組建北京中科信電子裝備公司，承擔離子注入機的研發任務。
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     9月28日，全球知名的晶片代工廠中芯國際公司與北方微電子公司、中科信公司分別簽訂了刻蝕機和離子注入機的採購合同，合同總價值超過1億元人民幣。這標誌著北京市承擔的國家“十五”863計劃積體電路製造裝備重大專項——100奈米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機初步實現了產業化，在晶片製造核心裝備研發方面的技術創新、自主創新取得了重大突破。
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    所謂100奈米，指的是硅材上刻的小槽寬度，從以前的0.25微米、0.18微米一直到0.13微米，直到現在進入奈米。這個數值越小，意味著晶片的精確度和集成度越高。
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2 N3 a5 _' q0 T: y! U# g    “這個重大的創新打破了國際壟斷，降低了晶片成本，能直接令老百姓受惠，在市場上買到更便宜的電視機、手機、電腦等等。”梁勝說。
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/ w. p. I8 b' ]5 M+ |    據介紹，北京市于2002年啟動了100奈米高密度等離子刻蝕機與大角度離子注入機項目。我國的晶片製造裝備技術本來與國際先進水準起碼差15至20年，這兩種設備研製成功後，現在只差5年的距離了。

    目前，8英寸產品已經產業化，12英寸的刻蝕機和離子注入機已基本具備了上線測試的條件，預計年底就可以進入生產線進行線上測試。