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大家好:
8 F5 B: N, J( z% W9 B" {- `
I" J& R1 q K5 C小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,7 i, A6 t6 d- b! F1 P# E$ w$ t
一般在做金屬導線連接時,/ g1 y' L1 @. V- ?7 A
應該是像圖一一樣,
/ S% R: P. Z( `8 i1 `, T$ @polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
) [4 B6 Q( j$ K利用Contact hole 將兩者連接起來,1 X5 W7 D+ v6 U' n+ I7 \
Contact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,' S* Z0 {/ t: k) s3 I
想請問各位前輩,
! n$ t* @- O0 s3 i$ N" j; Z8 {若以圖二這種方式連接,
6 O E. V1 W! U4 S8 ]' X: l; @polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,/ S5 K- m, N& v0 C- [: ^
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,, H- h! C1 G4 r( ?
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,
3 O9 X3 A3 ?! U# q6 B) x這樣可以嗎? |
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