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大家好:9 u* g, R+ t/ v* e2 o9 z; N
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小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,
, Z7 q, V+ I0 r! Y2 I: e& n一般在做金屬導線連接時,
3 \4 c. H6 e3 U$ o3 \1 ~" I' G應該是像圖一一樣,! q5 c' R0 G% P' U
polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
% ]: k) E3 Q2 B8 E Y& r+ H' Y利用Contact hole 將兩者連接起來,
2 v/ ]! J1 J! T0 x! L4 Y' I. ~7 S AContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,
$ t% L3 B* Z0 O, J2 c% B1 ?' Y想請問各位前輩,
& |4 u5 o; ]# Z; g若以圖二這種方式連接,; n3 ?( N8 o6 w4 Y
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,; l; i4 J. c8 e8 E/ J) e
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,/ J) T- c! T# f
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,
% C$ ^/ d8 t) @) Q4 e這樣可以嗎? |
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