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[問題求助] Layout佈線問題

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1#
發表於 2013-6-11 19:31:25 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
大家好:9 u* g, R+ t/ v* e2 o9 z; N
/ ?; }1 X7 a! j7 N4 u0 M
小弟最近在Layout佈線時想到一個問題,
, Z7 q, V+ I0 r! Y2 I: e& n一般在做金屬導線連接時,
3 \4 c. H6 e3 U$ o3 \1 ~" I' G應該是像圖一一樣,! q5 c' R0 G% P' U
polysilicon與Metal line並無間隙,且需要部份重疊,
% ]: k) E3 Q2 B8 E  Y& r+ H' Y利用Contact hole 將兩者連接起來,
2 v/ ]! J1 J! T0 x! L4 Y' I. ~7 S  AContact hole是屬於垂直方向將上下兩個需相通的部分做連接,
$ t% L3 B* Z0 O, J2 c% B1 ?' Y想請問各位前輩,
& |4 u5 o; ]# Z; g若以圖二這種方式連接,; n3 ?( N8 o6 w4 Y
polysilicon與Metal line之間不重疊,保持有一段距離,; l; i4 J. c8 e8 E/ J) e
再利用Contact hole 將兩者連接起來,把Contact hole當成導線的功能,/ J) T- c! T# f
讓Contact hole具有垂直方向以及水平方向的連接,
% C$ ^/ d8 t) @) Q4 e這樣可以嗎?

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3#
發表於 2015-8-24 08:04:08 | 只看該作者
翻翻一下製程設計手冊
% o4 a/ H; J" o( y& j) v/ c9 B翻翻一下製程設計手冊
2#
發表於 2013-6-13 13:05:49 | 只看該作者
會有current density的問題 去翻閱一下製程設計手冊,找一下current density在不同layer間的參數~
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