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[問題求助] 何謂 field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide

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372412
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1#
發表於 2011-5-15 22:09:32 | 只看該作者 回帖獎勵 |正序瀏覽 |閱讀模式
在書上常見到  field oxide、 gate oxide,、thin oxide，thick oxide( a1 A' w9 ?7 o- Y2 D
但是真是讓這些名詞給搞亂了，不知道有何差別。所以想向網路上各位先進請教2 ^4 m& n! f% V
不知是否有剖面圖 cross-section 可以參考，已方便做比較。9 A" A: g' t. N
謝謝
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2#
發表於 2011-5-17 01:04:41 | 只看該作者
基本上....field oxide = thick oxide 簡單的說就是OD之外的部分....) L( I& ^" Q. n! S5 g& A- l8 K
/ R4 z6 S3 r" P# ^6 e' c, K4 X+ o
gate oxide = thin oxide 長在poly 下層的 oxide....
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