MKS萬機科技24日首度在台舉辦科技研討會

jiming

針對半導體產業提出經濟且高效率的製程控制解決方案

爲了協助國內半導體業者持續提高製程品質與產量，全球半導體和相關製造產業製程控制技術領導廠商—萬機科技 (MKS Instruments, Inc., 美國那斯達克上市代號：MKSI) 將於本月24日首度在台灣舉辦科技研討會，針對半導體業者提出製程控制的最新解決方案，同時，會中也將邀請SEMI (國際半導體設備材料產業協會)台灣暨東南亞區總裁曹世綸分享台灣半導體元件和資本設備市場概況。

隨著300mm和45奈米及以下製程逐漸成為主流，持續提升製程品質和機器使用率是所有半導體製造業者的共同課題，然而，面對業界與市調機構對於2008年半導體市場景氣的保守預估，業者必須積極尋求更經濟的製程控制解決方案。MKS萬機科技在半導體製程控制中的氣體和真空儀器等應用方面居於全球技術領先地位，其遠端電漿產生器(remote plasma system)和壓力控制器等相關產品在台灣有高達近90%的市場佔有率。而為了協助台灣地區客戶提升競爭優勢，MKS萬機科技首度在SEMICON Taiwan展覽之外，針對半導體、FPD與太陽能產業舉行系列研討會，依據產業特性與需求，提供業者效能更優異且更經濟的製程控制解決方案。

MKS萬機科技台灣區總經理簡育民表示：「MKS萬機科技自1999年在台灣成立以來，不斷因應客戶製程技術的演進和衍伸的相關需求，引進壓力量測與控制、氣體成分分析、流量測量與控制系統、電漿電源及製程氣體產生器，以及真空儀器等各種能協助半導體產業提高良率和產量的解決方案，與我們的客戶一起成長。這次，我們將針對半導體製程推出全新的壓力控制和流量控制、遠端電漿系統、製程氣體分析，以及有助於提升半導體製造過程中環境安全的臭氧產生器等升級解決方案，希望在成本控制的壓力下協助客戶輕鬆升級現有的製程控制設備，同時有效提高製程良率和生產力。」

MKS萬機科技的半導體製程控制相關解決方案已獲得台積電、聯電、華亞、南亞、茂德、華邦等台灣前20大晶圓代工廠採用。在平面顯示器部分的客戶包括友達、奇美等主要製造商，及光電產業的客戶等。

「MKS萬機科技2008半導體技術研討會」將於1月24日假新竹煙波飯店舉行，建議參加對象為晶圓代工與IC製造廠之工程部主管或主任工程師，若您對本活動有興趣，歡迎來電洽詢：(03) 573-3399分機223吳小姐。MKS萬機科技保有報名受理之權利。

關於MKS Instruments (萬機科技)

MKS萬機科技是全球量測、次系統和製程控制解決方案的領導供應商，協助製造業者測量、控制、監控和分析先進製程中重要的參數，以提升製程效能和產量。該公司的核心產品為壓力量測和控制相關技術，並衍伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、製程數據及資訊整合技術、電漿電源與反應氣體產生器，以及真空技術等。主要市場為半導體設備製造商，以及應用在平面顯示器、太陽能電池、資料儲存媒體方面的先進薄膜鍍膜技術。除此之外，MKS萬機科技的技術也廣泛應用在醫學電子系統、生化醫藥製造和能源產生及環境監控等部份。