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標題: MOM電容佈法 [打印本頁]
作者: r2583614    時間: 2014-1-23 12:05 AM
標題: MOM電容佈法
有人知道MOM電容怎麼LAYOUT???怎麼去計算MOM的電容值??有相關的參考論文或資料嗎???
作者: beverly_tseng    時間: 2014-1-23 02:18 PM
回復 1# r2583614
7 p) V; i1 J( `# [, N( _" O: |: O! k( @) D6 i
' L- J9 [0 C8 K; c
    通常看你的製程有幾層metal層,大體上metal1 和 top_metal 是不使用,做成finger形狀,上下對稱,要打滿Vias,. b9 V, \7 A" F/ `
    mom 電容值, 可以串一個電阻,用抽RC值check mom's 的電容值.
作者: l690527    時間: 2014-5-21 05:51 PM
有 froundy  kit 就用
+ L5 Q4 l; I" V畫的 每間蓋的layer 也不一樣
. X! q9 m0 e6 ?$ c, h廠建好的 製程try過比較沒問題
1 x1 u2 Q# N2 y/ V+ J) G! @5 s' f7 L2 }6 O2 S! Y0 |- X1 J  V
自己寫一個spice  model  容值抓抓看
: l0 b/ ~' v* c) b+ z, R4 v/ ^1 z
0 o: L( p* u* ^MOM 是tsmc的说法： metal  oxide metal , 就是同层2根metal route之间oxide之间形成的cap，
2 ~% w; }8 i" ^  {# ^/ a% v$ j% V可能任何工艺都有这个cap， 1 t/ \3 @  d. C9 ^0 L2 c

' j1 j$ v" G# E1 o  c1 eMIM ： metal insulator metal， 这个在Analog、RF工艺里面才有，用来做 高精度的cap，
& v; y, ^4 i' k4 ?由Mtop和mtop-1 之间垂直方向形成，  logic工艺是不提供的，
. Y- f5 s# ^8 V  C5 j! l: W" o+ ]4 kMIM的2层metal 特别厚， 一般是下面的好几倍甚至是10几倍



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